[发明专利]一种硫酸系ITO蚀刻液及其制备、应用方法有效
| 申请号： | 202111519638.2 | 申请日： | 2021-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN114507528B | 公开（公告）日： | 2023-08-08 |
| 发明（设计）人： | 王维;潘春林;李自杰;林秋玉 | 申请（专利权）人： | 福建中安高新材料研究院有限公司 |
| 主分类号： | C09K13/06 | 分类号： | C09K13/06;H01L21/3213 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 李珊珊 |
| 地址： | 350003 福建省福州市鼓楼区软*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 硫酸 ito 蚀刻 及其 制备 应用 方法 | ||
1.一种硫酸系ITO蚀刻液，其特征在于，所述硫酸系ITO蚀刻液包括以下重量份数的各原料：10-20份的硫酸，5-15份的硝酸，20-30份的醋酸，0.01-2份的无机氯化物，0.1-2份的表面活性剂，以及水；其中，所述表面活性剂包括聚氧乙烯脂肪胺、聚氧乙烯脂肪二胺中的至少一种和脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸铵；所述聚氧乙烯脂肪胺与所述聚氧乙烯脂肪二胺的质量之和是所述脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸铵的质量的1-5倍。
2.根据权利要求1所述的硫酸系ITO蚀刻液，其特征在于，所述聚氧乙烯脂肪胺和所述聚氧乙烯脂肪二胺中的氧乙烯基的数量大于10。
3.根据权利要求1所述的硫酸系ITO蚀刻液，其特征在于，所述硫酸系ITO蚀刻液包括以下重量份数的各原料：16-18份的硫酸，6-7份的硝酸，24-26份的醋酸，0.25-1份的无机氯化物，0.25-1份的表面活性剂，以及水。
4.根据权利要求1所述的硫酸系ITO蚀刻液，其特征在于，所述无机氯化物包括氯化钾、氯化铵、氯化铁中的至少一种。
5.根据权利要求1-4任一项所述的硫酸系ITO蚀刻液，其特征在于，所述硫酸系ITO蚀刻液中还包括酸稳定剂，所述酸稳定剂包括肼、肼衍生物中的至少一种。
6.一种硫酸系ITO蚀刻液的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
将硫酸、硝酸、醋酸、无机氯化物、表面活性剂及水按比例混合，得到硫酸系ITO蚀刻液；所述硫酸系ITO蚀刻液包括以下重量份数的各组分：10-20份的硫酸，5-15份的硝酸，20-30份的醋酸，0.01-2份的无机氯化物，0.1-2份的表面活性剂，以及水；其中，所述表面活性剂包括聚氧乙烯脂肪胺、聚氧乙烯脂肪二胺中的至少一种和脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸铵；
所述聚氧乙烯脂肪胺与所述聚氧乙烯脂肪二胺的质量之和是所述脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸铵的质量的1-5倍。
7.一种硫酸系ITO蚀刻液的应用方法，其特征在于，包括以下步骤：
将如权利要求1-5任一项所述的硫酸系ITO蚀刻液或者根据权利要求6所述的制备方法制得的硫酸系ITO蚀刻液与表面设有ITO膜的基板接触，以将所述ITO膜蚀刻。
8.根据权利要求7所述的应用方法，其特征在于，所述蚀刻的时间为60s-120s，所述蚀刻的温度为30℃-50℃。
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