[发明专利]显示面板及其制造方法有效
申请号: | 202111505619.4 | 申请日: | 2021-12-10 |
公开(公告)号: | CN114203786B | 公开(公告)日: | 2023-07-04 |
发明(设计)人: | 胡靖源;张晓星 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H10K59/123 | 分类号: | H10K59/123;H10K59/121;H10K59/122;H10K59/131;H10K71/00 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 汪阮磊 |
地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 显示 面板 及其 制造 方法 | ||
一种显示面板包括薄膜晶体管、阳极、以及绑定焊盘。所述薄膜晶体管包括源极、漏极、以及栅极。所述阳极电性连接所述薄膜晶体管。所述阳极的材料包括银‑钯‑铜合金。所述绑定焊盘电性连接所述薄膜晶体管。所述绑定焊盘的材料与所述阳极的所述材料相同。由于所述阳极的所述材料是通过添加适当比例的银、钯、以及铜金属元素所形成的合金材料,因此其可以使得整体材料提升耐水汽、耐高温、耐硫化、以及耐氧化等耐受其他元素侵蚀的能力。
技术领域
本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种显示面板。
背景技术
在现有技术的显示面板中,由于铜(Cu)或是铜合金的导电性能良好,所述显示面板会采用其作为金属走线。所述金属走线,除了作为所述显示面板的薄膜晶体管的电路走线之外,还用以电性连接所述显示面板外部的柔性电路板,实现接入外部信号。然而,由于所述金属走线的材料采用铜或是铜合金这类容易与空气中的氧气以及水汽发生反应的材料,因此为了与所述柔性电路板电性连接而裸露于所述显示面板外部的一部份所述金属走线将容易产生氧化,进而影响所述显示面板与所述柔性电路板的绑定效果。
现有技术为了解决上述技术问题,采用钼(Mo)或是钼合金这类活性较低并且耐腐蚀性的材料作为绑定焊盘,并且覆盖在裸露的所述部份的所述金属走线上,借以隔绝所述金属走线与空气中的氧气以及水汽发生反应。然而,这个结构设计将会增加所述显示面板的制造工序、以及增加所述显示面板的制造时间以及制造成本。
另外,所述显示面板的阳极采用银(Ag)或是包括银的复合叠层等具有高反射性的材料。然而,相同地,在所述显示面板的制造过程中,由于此类材料容易与空气中的氧气、水汽、或是与所述制造过程中使用的化合物发生反应,因此在所述制造过程中被暂时裸露的所述阳极将容易产生氧(O)化或是硫(S)化。当所述阳极劣化后,将有可能产生断线或是与所述显示面板的阴极短接,使得所述显示面板的像素失效,进而影响所述显示面板的所述像素的显示效果。
现有技术的所述显示面板具有所述金属走线容易氧化、所述阳极容易氧化或是硫化、以及制造工序较多的技术问题,因此需要一种具有耐腐蚀金属作为阳极以及绑定焊盘的材料的显示面板,来解决上述的技术问题。
发明内容
本发明提供一种具有耐腐蚀金属作为阳极以及绑定焊盘的材料的显示面板。所述显示面板包括薄膜晶体管、阳极、以及绑定焊盘。所述薄膜晶体管包括源极、漏极、以及栅极。所述阳极电性连接所述薄膜晶体管。所述阳极的材料包括银-钯-铜合金。所述绑定焊盘电性连接所述薄膜晶体管。所述绑定焊盘的材料与所述阳极的所述材料相同。
在一实施例中,所述阳极还包括设置在所述银-钯-铜合金两个相对表面的透明导电氧化物。
在一实施例中,所述绑定焊盘还包括设置在所述银-钯-铜合金两个相对表面的透明导电氧化物。
在一实施例中,所述透明导电氧化物包括铟氧化物、鍗氧化物、或镉氧化物。
在本实施例中,所述显示面板还包括钝化层以及平坦化层。所述钝化层设置于所述薄膜晶体管上,并且覆盖所述薄膜晶体管。所述钝化层包括开设于所述薄膜晶体管上的第一通孔。所述平坦化层设置于所述钝化层上。所述平坦化层包括对应所述第一通孔的第二通孔。所述阳极穿过所述第一通孔以及所述第二通孔以电性连接所述薄膜晶体管。
在本实施例中,所述显示面板还包括金属走线,所述金属走线与所述薄膜晶体管的所述源极以及所述漏极同层设置,所述绑定焊盘通过所述金属走线电性连接所述薄膜晶体管。所述钝化层还包括开设于所述金属走线上的第三通孔。所述绑定焊盘穿过所述第三通孔以电性连接所述金属走线。
在一实施例中,所述薄膜晶体管包括顶栅极型薄膜晶体管。
本发明还提供一种具有耐腐蚀金属作为阳极以及绑定焊盘的材料的显示面板的制造方法。所述显示面板的制造方法包括以下步骤:
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