[发明专利]显示面板及其制造方法

权利要求书

1.一种显示面板，其特征在于，包括：

薄膜晶体管，包括源极、漏极以及栅极；以及

阳极，电性连接所述薄膜晶体管，所述阳极的材料包括银-钯-铜合金；以及

绑定焊盘，电性连接所述薄膜晶体管，所述绑定焊盘的材料与所述阳极的所述材料相同；

其中，所述显示面板还包括金属走线，所述金属走线与所述薄膜晶体管的所述源极以及所述漏极同层设置，所述绑定焊盘通过所述金属走线电性连接所述薄膜晶体管，且所述绑定焊盘的材料包括银-钯-铜合金，以保护所述金属走线避免所述金属走线被氧化。

2.如权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述阳极还包括设置在所述银-钯-铜合金两个相对表面的透明导电氧化物。

3.如权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述绑定焊盘还包括设置在所述银-钯-铜合金两个相对表面的透明导电氧化物。

4.如权利要求2或是3所述的显示面板，其特征在于，所述透明导电氧化物包括铟氧化物、鍗氧化物、或镉氧化物。

5.如权利要求1所述的显示面板，其特征在于，还包括：

钝化层，设置于所述薄膜晶体管上，并且覆盖所述薄膜晶体管，所述钝化层包括开设于所述薄膜晶体管上的第一通孔；以及

平坦化层，设置于所述钝化层上，所述平坦化层包括对应所述第一通孔的第二通孔；

其中，所述阳极穿过所述第一通孔以及所述第二通孔以电性连接所述薄膜晶体管。

6.如权利要求5所述的显示面板，其特征在于，所述钝化层还包括开设于所述金属走线上的第三通孔，以及所述绑定焊盘穿过所述第三通孔以电性连接所述金属走线。

7.如权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述薄膜晶体管包括顶栅极型薄膜晶体管。

8.一种显示面板的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：

形成薄膜晶体管以及金属走线，所述薄膜晶体管包括源极、漏极以及栅极，所述金属走线与所述薄膜晶体管的所述源极以及所述漏极同层形成；以及

同时形成与所述薄膜晶体管电性连接的阳极以及绑定焊盘，所述阳极的材料包括银-钯-铜合金，所述绑定焊盘的材料与所述阳极的所述材料相同，所述绑定焊盘通过所述金属走线电性连接所述薄膜晶体管，且所述绑定焊盘的材料包括银-钯-铜合金，以保护所述金属走线避免所述金属走线被氧化。

9.如权利要求8所述的显示面板的制造方法，其特征在于，在形成与所述薄膜晶体管电性连接的阳极以及绑定焊盘的步骤中还包括以下步骤：

依序叠层透明导电氧化物、所述银-钯-铜合金、以及透明导电氧化物以形成所述阳极以及所述绑定焊盘。

10.如权利要求8所述的显示面板的制造方法，其特征在于，在形成薄膜晶体管的步骤之后还包括以下步骤：

在所述薄膜晶体管上形成钝化层；

在所述钝化层上形成平坦化层；

在所述平坦化层上开设第二通孔；以及

在所述钝化层上同时开设第三通孔、以及对应所述第二通孔的位置的第一通孔；

其中，所述阳极穿过所述第一通孔以及所述第二通孔以电性连接所述薄膜晶体管，以及所述绑定焊盘穿过所述第三通孔以电性连接所述金属走线。