[发明专利]一种双面卷绕镀膜机在审
申请号: | 202111504644.0 | 申请日: | 2021-12-10 |
公开(公告)号: | CN114015998A | 公开(公告)日: | 2022-02-08 |
发明(设计)人: | 刘佩杰 | 申请(专利权)人: | 山东省宝丰镀膜有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56;C23C14/26;C23C14/30 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 262500 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 双面 卷绕 镀膜 | ||
本发明涉及镀膜设备技术领域,具体地说,涉及一种双面卷绕镀膜机。包括真空室、抽真空系统,以及位于真空室内的镀膜鼓、卷绕系统、蒸发系统和导辊系统;所述真空室的内腔由隔离板分隔为四个腔室;所述卷绕系统包括分别位于真空室两个相对顶角腔室内的第一卷绕机构、第二卷绕机构;所述蒸发系统设有两组,分别位于真空室另外两个相对顶角腔室内;所述镀膜鼓设置有两个,包括第一镀膜鼓、第二镀膜鼓,两个镀膜鼓分别位于两组蒸发系统的上方。本发明通过采用两个可逆卷绕系统和两组镀膜鼓、蒸发系统,来实现薄膜基材的双面卷绕和双面镀膜,从而能够满足市场上对于镀制特殊、双面、超厚膜的需求,具有良好的市场前景。
技术领域
本发明涉及镀膜设备技术领域,具体地说,涉及一种双面卷绕镀膜机。
背景技术
现有的卷绕镀膜机基本上是仅能用于单面单功能镀膜的单面镀膜设备,其主要包括真空室、抽真空系统,以及位于真空室内的镀膜鼓、卷绕系统、蒸发系统和导辊系统,其中,卷绕系统包括放卷机构和收卷机构,镀膜鼓和蒸发系统只设置有一组。
随着镀膜的广泛应用,某些领域需要镀制特殊、双面、超厚膜,目前市场上并无完善的镀膜设备能够实现,急需一种能完成镀制特殊、双面、超厚膜的镀膜设备。
发明内容
本发明的目的在于,提供一种双面卷绕镀膜机,以解决上述的技术问题。
为解决上述问题,本发明所采用的技术方案是:
一种双面卷绕镀膜机,包括真空室、抽真空系统,以及位于真空室内的镀膜鼓、卷绕系统、蒸发系统和导辊系统,其特征在于:所述真空室的内腔由隔离板分隔为四个腔室;所述卷绕系统包括分别位于真空室两个相对顶角腔室内的第一卷绕机构、第二卷绕机构;所述第一卷绕机构包括第一卷绕辊和位于第一卷绕辊一侧的卷绕距离调整辊,所述第二卷绕机构包括第二卷绕辊和位于第二卷绕辊一侧的卷绕距离调整辊;所述蒸发系统设有两组,分别位于真空室另外两个相对顶角腔室内;所述镀膜鼓设置有两个,包括第一镀膜鼓、第二镀膜鼓,两个镀膜鼓分别位于两组蒸发系统的上方;两个镀膜鼓的下方分别设置有蒸发屏蔽窗口;所述导辊系统包括若干个导辊、展平辊、平衡辊以及展平辊组件。
优选的,所述真空室设置有若干个观察窗;所述真空室内的隔离板均为采用冷水降温的水冷隔离板。
优选的,所述第一卷绕机构与第一镀膜鼓之间的两个导辊之间设置有厚度检测装置;所述第一镀膜鼓与第二镀膜鼓之间依次设置有展平辊和平衡辊;所述第一镀膜鼓与展平辊之间设置有导辊;所述平衡辊与第二镀膜鼓之间的两个导辊之间也设置有厚度检测装置;所述展平辊组件位于第二镀膜鼓与第二卷绕机构之间,包括展平辊和分别设在展平辊前后两侧的导辊。
优选的,所述的第一镀膜鼓、第二镀膜鼓均设置有用于冷却液循环流通的夹层;在两个镀膜鼓的表面涂覆陶瓷材料,且与墙板安装孔采用电气绝缘处理,以施加偏压。
优选的,所述展平辊组件与第二卷绕机构之间设置有等离子基材处理器。
优选的,所述抽真空系统设置有两组,分别位于两组蒸发系统所在腔室的外部,其采用的抽真空泵为分子泵或者扩散泵。
优选的,所述蒸发系统包括能调节高度的蒸发源、位于蒸发源两侧的离子源、气体供应装置和将膜层材料送入蒸发源的送料机构。
优选的,所述蒸发系统设置有冷却液循环通道,并能在运载装置的驱动下移出真空室清理换料,且与运载装置、真空室之间采用电气绝缘处理。
优选的,所述蒸发源为电阻蒸发源、感应加热蒸发源或电子枪蒸发源;所述离子源为阳极层条形离子源或射频离子源;所述气体供应装置为氩气供应装置或者氧气供应装置。
优选的,所述蒸发屏蔽窗口设有翻转驱动装置,且内设用于冷却液循环流通的空腔或夹层;所述蒸发屏蔽窗口与墙板安装孔间采用电气绝缘处理,以施加偏压。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于山东省宝丰镀膜有限公司,未经山东省宝丰镀膜有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202111504644.0/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种离子辅助的多靶磁控溅射设备
- 下一篇:一种绞车排绳用链轮传动装置
- 同类专利
- 专利分类