[发明专利]一种双面卷绕镀膜机

权利要求书

1.一种双面卷绕镀膜机，包括真空室(1)、抽真空系统(16)，以及位于真空室(1)内的镀膜鼓、卷绕系统、蒸发系统和导辊系统，其特征在于：所述真空室(1)的内腔由隔离板(3)分隔为四个腔室；所述卷绕系统包括分别位于真空室(1)两个相对顶角腔室内的第一卷绕机构、第二卷绕机构；所述第一卷绕机构包括第一卷绕辊(41)和位于第一卷绕辊(41)一侧的卷绕距离调整辊(11)，所述第二卷绕机构包括第二卷绕辊(42)和位于第二卷绕辊(42)一侧的卷绕距离调整辊(11)；所述蒸发系统设有两组，分别位于真空室(1)另外两个相对顶角腔室内；所述镀膜鼓设置有两个，包括第一镀膜鼓(51)、第二镀膜鼓(52)，两个镀膜鼓分别位于两组蒸发系统的上方；两个镀膜鼓的下方分别设置有蒸发屏蔽窗口(8)；所述导辊系统包括若干个导辊(15)、展平辊(14)、平衡辊(10)以及展平辊组件。

2.根据权利要求1所述的双面卷绕镀膜机，其特征在于：所述真空室(1)设置有若干个观察窗(2)；所述真空室(1)内的隔离板(3)均为采用冷水降温的水冷隔离板。

3.根据权利要求1所述的双面卷绕镀膜机，其特征在于：所述第一卷绕机构与第一镀膜鼓(51)之间的两个导辊(15)之间设置有厚度检测装置(9)；所述第一镀膜鼓(51)与第二镀膜鼓(52)之间依次设置有展平辊(14)和平衡辊(10)；所述第一镀膜鼓(51)与展平辊(14)之间设置有导辊；所述平衡辊(10)与第二镀膜鼓(52)之间的两个导辊之间也设置有厚度检测装置(9)；所述展平辊组件位于第二镀膜鼓(52)与第二卷绕机构之间，包括展平辊和分别设在展平辊前后两侧的导辊。

4.根据权利要求3所述的双面卷绕镀膜机，其特征在于：所述的第一镀膜鼓(51)、第二镀膜鼓(52)均设置有用于冷却液循环流通的夹层；两个镀膜鼓的表面涂覆陶瓷材料，且与墙板安装孔均采用电气绝缘处理，以施加偏压。

5.根据权利要求1-4任意一项所述的双面卷绕镀膜机，其特征在于：所述展平辊组件与第二卷绕机构之间设置有等离子基材处理器(12)。

6.根据权利要求5所述的双面卷绕镀膜机，其特征在于：所述抽真空系统(16)设置有两组，分别位于两组蒸发系统所在腔室的外部，其采用的抽真空泵为分子泵或者扩散泵。

7.根据权利要求6所述的双面卷绕镀膜机，其特征在于：所述蒸发系统包括能调节高度的蒸发源(61)、位于蒸发源(61)两侧的离子源、气体供应装置和将膜层材料送入蒸发源(61)的送料机构(7)。

8.根据权利要求7所述的双面卷绕镀膜机，其特征在于：所述蒸发源(61)为电阻蒸发源、感应加热蒸发源或电子枪蒸发源；所述离子源(62)为阳极层条形离子源或射频离子源；所述气体供应装置为氩气供应装置或者氧气供应装置。

9.根据权利要求7所述的双面卷绕镀膜机，其特征在于：所述蒸发系统设置有冷却液循环通道，并能在运载装置的驱动下移出真空室(1)清理换料，且与运载装置、真空室(1)之间采用电气绝缘处理。

10.根据权利要求7所述的双面卷绕镀膜机，其特征在于：所述蒸发屏蔽窗口(8)设有翻转驱动装置，且内设用于冷却液循环流通的空腔或夹层；所述蒸发屏蔽窗口(8)与墙板安装孔间采用电气绝缘处理，以施加偏压。