[发明专利]一种两步化学气相沉积法制备石墨烯的方法在审
申请号: | 202111496317.5 | 申请日: | 2021-12-09 |
公开(公告)号: | CN114162809A | 公开(公告)日: | 2022-03-11 |
发明(设计)人: | 陶静梅;李国庆;易健宏;刘意春;鲍瑞;李凤仙;方东;李才巨;游昕;谈松林 | 申请(专利权)人: | 昆明理工大学 |
主分类号: | C01B32/186 | 分类号: | C01B32/186 |
代理公司: | 昆明隆合知识产权代理事务所(普通合伙) 53220 | 代理人: | 龙燕 |
地址: | 650093 云*** | 国省代码: | 云南;53 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 化学 沉积 法制 石墨 方法 | ||
1.一种两步化学气相沉积法制备石墨烯的方法,其特征在于,具体包括以下步骤:
(1)取7-50g铜粉作为催化基底,去除铜粉表面的氧化物;
(2)取5-200mg粉末状固态碳源置于上游温区,铜粉置于下游温区,通入高纯氢气和高纯氩气的混合气体,在30min内同时将上游温区和下游温区加热到300-600℃,保温时间为10-90min,保温结束后,然后在40min内将上游温区和下游温区同时升温至1000-1050℃,保温时间为10-120min,保温结束后,通过打开炉盖快速降温,在120min内降到室温,实现低质量多层石墨烯到高质量少层或单层石墨烯的转变,得到石墨烯-铜复合粉末,溶解铜粉以后得到石墨烯。
2.根据权利要求1所述两步化学气相沉积法制备石墨烯的方法,其特征在于:步骤(1)中去除铜粉表面的氧化物的具体过程为:在氢气和氩气的混合气氛下于500-600 ℃还原60min。
3.根据权利要求1或2所述两步化学气相沉积法制备石墨烯的方法,其特征在于:铜粉纯度大于等于99.99%,尺寸为5μm-200μm。
4.根据权利要求2所述两步化学气相沉积法制备石墨烯的方法,其特征在于:步骤(2)中所述的氢气和氩气纯度大于等于99.999%,氢气流量20-100sccm,氩气流量150-300sccm。
5.根据权利要求1所述两步化学气相沉积法制备石墨烯的方法,其特征在于:步骤(2)中所述的固态碳源为聚甲基丙烯酸甲酯、聚丙烯、聚乙烯、聚苯乙烯或者聚乙二醇粉末,尺寸在20μm-200μm之间,且上游温区中心到下游温区中心的距离为15-25cm。
6.根据权利要求1所述两步化学气相沉积法制备石墨烯的方法,其特征在于:步骤(1)中所述铜粉替换为铜箔,以铜箔作为催化基底,沉积前对铜箔进行预处理,去除铜箔表面的氧化物、污染物和压痕。
7.根据权利要求6所述两步化学气相沉积法制备石墨烯的方法,其特征在于:对铜箔进行预处理的具体过程为:
(1)将厚度为25-50μm的铜箔切成60mm*60mm的方片,并将切好的方形铜箔置于烧杯中,倒入1mol/L的稀盐酸浸泡20min,以除去铜箔表面的氧化物和污染物,随后将铜箔捞出,用去离子水清洗4-5次,再用无水乙醇清洗3-4次,并干燥;
(2)将干燥后的铜箔进行电解抛光,以消除其表面的压痕,电解抛光后用去离子水冲洗4-5次,再用无水乙醇清洗3-4次,干燥后切成10mm*10mm的小方块,置于刚玉坩埚中;
(3)将电解抛光的铜箔置于管式炉中,在氢气和氩气的混合气氛下于1000℃退火120min。
8.根据权利要求7所述两步化学气相沉积法制备石墨烯的方法,其特征在于:所述的电解抛光所使用的抛光液由100ml去离子水、50ml磷酸、50ml无水乙醇、10ml异丙醇和2克尿素配制而成,采用稳压直流电源,抛光电压在3V-10V之间,抛光时间在30s-120s之间,抛光铜箔为阳极,采用铜板为阴极。
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