[发明专利]一种通用型硅产品加工转台结构

权利要求书

1.一种通用型硅产品加工转台结构，其特征是，包括转盘，转盘上表面上径向间隔设置若干抽真空槽，抽真空槽内设置抽气孔，转盘中部设有通气接口，抽气孔均与通气接口连通。

2.根据权利要求1所述的一种通用型硅产品加工转台结构，其特征是，转盘中部紧固连接有连接盘，通气接口设置在连接盘上，连接盘内设有和通气接口连通的连通孔，转盘内设置通气孔，通气孔连通在抽气孔和通气孔之间。

3.根据权利要求2所述的一种通用型硅产品加工转台结构，其特征是，转盘中部设有T形孔，连接盘呈T形，连接盘适配安装在T形孔中。

4.根据权利要求3所述的一种通用型硅产品加工转台结构，其特征是，T形孔的大径孔和小径孔之间形成过渡面，过渡面上和通气孔对应设有下过渡孔，通气孔外端延伸到转盘外壁，通气孔内端与下过渡孔连通，通气孔外端连接密封塞；连通孔设置在连接盘大径部位，连通孔内端与通气接口连通，连通孔外端延伸到连接盘外壁，连通孔外端连接密封塞；连接盘上设有和连通孔连通的上过渡孔，上过渡孔与下过渡孔对应连通。

5.根据权利要求1至4任意一项所述的一种通用型硅产品加工转台结构，其特征是，抽真空槽呈环形结构，转盘设有若干径向间隔设置的夹具固定孔。

6.根据权利要求1所述的一种通用型硅产品加工转台结构，其特征是，转盘包括盘座、安装在盘座上的若干盘体，盘体周向依次布设，盘体可径向滑动，抽真空槽设置在盘体上表面上。

7.根据权利要求6所述的一种通用型硅产品加工转台结构，其特征是，盘座上和盘体对应设有径向设置的滑轨，盘体上和滑轨对应设有滑槽，滑槽与滑轨适配连接。

8.根据权利要求7所述的一种通用型硅产品加工转台结构，其特征是，盘座中部紧固连接有连接盘，通气接口设置在连接盘上，滑轨内设有导流孔，连接盘内和滑轨一一对应设有若干连通孔，盘体内设置通气孔， 连通孔连通在通气接口和导流孔之间，导流孔和通气孔之间连接抽气管，抽气孔均与通气孔连通。

9.根据权利要求6所述的一种通用型硅产品加工转台结构，其特征是，盘体均呈扇环形结构，所有盘体依次靠合在一起形成环形结构。

10.根据权利要求6至9任意一项所述的一种通用型硅产品加工转台结构，其特征是，每个盘体上均设有若干条弧形的抽真空槽。