[发明专利]热处理装置及热处理方法

权利要求书

1.一种热处理装置，通过对衬底照射光而将所述衬底加热，且特征在于具备：

腔室，收纳衬底；

保持部，在所述腔室内保持所述衬底；

多个LED灯，设置在所述腔室的一侧，对所述保持部所保持的所述衬底照射波长900nm以下的光；

闪光灯，设置在所述腔室的另一侧，对所述保持部所保持的所述衬底照射闪光；及

石英窗，设置在所述腔室，配置在所述保持部与所述多个LED灯之间。

2.根据权利要求1所述的热处理装置，其特征在于

所述多个LED灯配置成与所述保持部所保持的所述衬底的中心轴同轴的同心圆状。

3.根据权利要求2所述的热处理装置，其特征在于

所述多个LED灯以越靠近同心圆的外周越接近所述衬底的方式配置。

4.根据权利要求2所述的热处理装置，其特征在于

所述多个LED灯以越靠近同心圆的中心越朝向所述衬底的周缘部的方式相对于水平面倾斜配置。

5.根据权利要求2所述的热处理装置，其特征在于

所述多个LED灯越靠近同心圆的外周发光强度越高。

6.根据权利要求2所述的热处理装置，其特征在于

所述多个LED灯越靠近同心圆的外周照射时间越长。

7.根据权利要求1到6中任一权利要求所述的热处理装置，其特征在于还具备：

调整所述多个LED灯的高度位置及/或倾斜角度的机构。

8.一种热处理方法，通过对衬底照射光而将所述衬底加热，且特征在于具备：

第1加热工艺，从设置在所述腔室的一侧的多个LED灯对腔室内由保持部保持的衬底照射波长900nm以下的光而将所述衬底加热；及

第2加热工艺，从设置在所述腔室的另一侧的闪光灯对所述保持部所保持的所述衬底照射闪光而将所述衬底加热。

9.根据权利要求8所述的热处理方法，其特征在于

所述多个LED灯配置成与所述保持部所保持的所述衬底的中心轴同轴的同心圆状。

10.根据权利要求9所述的热处理方法，其特征在于还具备：

以越靠近同心圆的外周越接近所述衬底的方式调整所述多个LED灯的高度位置的工艺。

11.根据权利要求9所述的热处理方法，其特征在于还具备：

以越靠近同心圆的中心越朝向所述衬底的周缘部的方式使所述多个LED灯相对于水平面倾斜的工艺。

12.根据权利要求9所述的热处理方法，其特征在于还具备：

以越靠近同心圆的外周发光强度越高的方式调整所述多个LED灯的发光强度的工艺。

13.根据权利要求9所述的热处理方法，其特征在于还具备：

以越靠近同心圆的外周照射时间越长的方式调整所述多个LED灯的照射时间的工艺。