[发明专利]成膜装置

权利要求书

1.一种成膜装置，其是一边沿搬送方向搬送基板一边进行成膜的直列型的成膜装置，其特征在于，

该成膜装置具有：

搬送装置，具备搬送辊，该搬送辊与载置所述基板的掩模托盘的下表面且与所述基板的所述搬送方向交叉的交叉方向的两端部抵接而搬送所述掩模托盘；

蒸镀装置，配置在所述搬送装置的下方，具有向由所述搬送辊搬送的所述基板放出蒸镀材料的蒸镀源；以及

附着防止构件，限制所述蒸镀源放出蒸镀材料的放出范围，

所述附着防止构件包括：

第一面，与所述搬送辊的侧面相向，该侧面在由所述搬送辊搬送的所述基板的所述交叉方向上位于中心侧；以及

第二面，连接于所述第一面，且与所述搬送辊的下方周面相向，

所述成膜装置还包括以位于所述第一面与所述搬送辊的侧面之间的方式从所述搬送辊的搬送面在铅直方向上向上方延伸的附着防止板。

2.根据权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，

所述交叉方向上的所述蒸镀源的长度大于在所述交叉方向上相向的2个所述搬送辊的间隔。

3.根据权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，

所述附着防止构件为四棱筒状的形状，在四棱筒的端部设置有由所述第一面以及所述第二面形成的用于所述搬送辊的退避构造。

4.根据权利要求3所述的成膜装置，其特征在于，

所述四棱筒的内侧的表面为网眼构造。

5.根据权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，

所述附着防止板被配置成与所述搬送辊的所述侧面相向。

6.根据权利要求5所述的成膜装置，其特征在于，

所述附着防止板和设置于所述掩模托盘的下表面的凹部形成迷宫构造，所述附着防止板被配置成防止所述蒸镀材料附着于所述搬送辊的集尘罩以及所述搬送辊，所述迷宫构造是在与所述附着防止板所覆盖的面垂直的方向、即上下方向上邻接的所述附着防止板重合的构造。

7.根据权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，

所述蒸镀装置能够相对于所述搬送装置相对移动。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的成膜装置，其特征在于，

所述附着防止构件由多个附着防止板构成。

9.根据权利要求8所述的成膜装置，其特征在于，

所述第一面及所述第二面包含于所述多个附着防止板中的一个。