[发明专利]一种用于IGBT模块的密封方法在审
| 申请号: | 202111440828.5 | 申请日: | 2021-11-30 |
| 公开(公告)号: | CN114242601A | 公开(公告)日: | 2022-03-25 |
| 发明(设计)人: | 李松玲;向语嫣;飞景明;陈滔;孙晓峰;张峻;彭聪辉;陈庆;李相骏;李志南 | 申请(专利权)人: | 北京卫星制造厂有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56 |
| 代理公司: | 北京谨诚君睿知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11538 | 代理人: | 延慧;武丽荣 |
| 地址: | 100086*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 用于 igbt 模块 密封 方法 | ||
1.一种用于IGBT模块的密封方法,其特征在于,包括以下步骤:
S1、围框(1)下部与底板(2)气体密封地固定连接;
S2、在所述围框(1)与所述底板(2)形成的腔体灌封底部密封层(3);
S3、在所述腔体内,在所述底部密封层(3)上灌封稳定层(4);
S4、在所述腔体内,在所述稳定层(4)上灌封顶部加固层(5);
S5、将所述围框(1)上部与所述盖板(6)固定连接。
2.根据权利要求1所述的用于IGBT模块的密封方法,其特征在于,所述底部密封层(3)与所述稳定层(4)与所述顶部加固层(5)的硬度之比为(2-3):1:(2-3)。
3.根据权利要求2所述的用于IGBT模块的密封方法,其特征在于,
所述底部密封层(3)是固化的硅橡胶;
所述稳定层(4)是固化的硅凝胶;
所述顶部加固层(5)是固化的硅橡胶或环氧胶。
4.根据权利要求3所述的用于IGBT模块的密封方法,其特征在于,在步骤S1之前实施如下步骤:
S1a、在真空环境下,将所述硅橡胶、所述硅凝胶和所述环氧胶脱泡处理。
5.根据权利要求4所述的用于IGBT模块的密封方法,其特征在于,在步骤S1中,使用环氧胶固定粘接围框(1)下部与底板(2);
所述围框(1)的热膨胀系数与所述环氧胶的热膨胀系数比例为(0.8-1.2):1。
6.根据权利要求5所述的用于IGBT模块的密封方法,其特征在于,
所述步骤S2中,在所述腔体的下部灌封所述硅橡胶直至所述底部密封层(3)高于芯片组件,静置1min,将所述硅橡胶固化,其中,所述灌封过程在0.1mbar真空环境中进行。
7.根据权利要求5所述的用于IGBT模块的密封方法,其特征在于,
在所述步骤S3中,所述硅凝胶混合方式为活塞式静态混合管混合,灌封过程在0.1mbar真空环境中进行,灌封所述稳定层(4)的步骤如下:
S31、向所述腔体内灌封占所述腔体高度的1/4高度的所述硅凝胶,且覆盖所有金属键合丝(8),静置2min-5min;
S32、继续灌封所述硅凝胶,直至所述硅凝胶的上表面距离所述围框(1)的上表面距离范围为1.5mm-5mm,静置1.5min;
S33、将所述腔体内的所述硅凝胶固化。
8.根据权利要求5所述的用于IGBT模块的密封方法,其特征在于,
所述步骤S4中,在所述稳定层(4)上灌封所述环氧胶或硅橡胶直至顶部加固层(5)厚度达到1.5mm-2.5mm,静置1min,将所述环氧胶或所述硅橡胶固化,其中,所述灌封过程在0.1mbar真空环境中进行。
9.根据权利要求6或7或8所述的用于IGBT模块的密封方法,其特征在于,在步骤S1之前实施如下步骤:
S1b、蒸汽汽相清洗所述围框(1)与所述底板(2),清洗温度70±5℃,蒸汽清洗时间4±1min;
S1c、喷淋清洗所述围框(1)与所述底板(2),清洗温度70±5℃,喷淋时间1±0.5min,
干燥5±2min。
10.根据权利要求9所述的用于IGBT模块的密封方法,其特征在于,在步骤S1与步骤S2之间实施如下步骤:
S1d、在所述腔体的内表面涂覆偶联剂(7),其中,所述偶联剂(7)厚度范围为10μm-30μm;
在所述步骤S2中,所述硅橡胶的厚度范围是1.5mm-2.5mm。
11.根据权利要求10所述的用于IGBT模块的密封方法,其特征在于,
在步骤S1a中,将所述硅橡胶在9mbar-11mbar的真空环境下进行脱泡处理,自转速度为55r/min-65r/min脱泡处理时间为3min-7min;
在步骤S1a中,将所述硅凝胶在4mbar-6mbar的真空环境下进行脱泡处理,搅拌轴转速为55r/min-65r/min,脱泡处理时间为18min-22min;
在步骤S1a中,将所述环氧胶在4mbar-6mbar的真空环境下进行脱泡处理,搅拌轴转速为55r/min-65r/min,脱泡处理时间为8min-12min;
在所述步骤S1中,使用双组份真空备料系统实施脱泡处理;
在所述步骤S2、S3和S4中,使用离线式四轴单嘴双组份真空箱灌胶机实施灌胶,所述硅橡胶固化温度为20℃-30℃,所述硅凝胶固化温度为65℃-75℃,所述环氧胶固化温度为95℃-105℃。
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