[发明专利]一种用于IGBT模块的密封方法在审

专利信息
申请号: 202111440828.5 申请日: 2021-11-30
公开(公告)号: CN114242601A 公开(公告)日: 2022-03-25
发明(设计)人: 李松玲;向语嫣;飞景明;陈滔;孙晓峰;张峻;彭聪辉;陈庆;李相骏;李志南 申请(专利权)人: 北京卫星制造厂有限公司
主分类号: H01L21/56 分类号: H01L21/56
代理公司: 北京谨诚君睿知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11538 代理人: 延慧;武丽荣
地址: 100086*** 国省代码: 北京;11
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 用于 igbt 模块 密封 方法
【权利要求书】:

1.一种用于IGBT模块的密封方法,其特征在于,包括以下步骤:

S1、围框(1)下部与底板(2)气体密封地固定连接;

S2、在所述围框(1)与所述底板(2)形成的腔体灌封底部密封层(3);

S3、在所述腔体内,在所述底部密封层(3)上灌封稳定层(4);

S4、在所述腔体内,在所述稳定层(4)上灌封顶部加固层(5);

S5、将所述围框(1)上部与所述盖板(6)固定连接。

2.根据权利要求1所述的用于IGBT模块的密封方法,其特征在于,所述底部密封层(3)与所述稳定层(4)与所述顶部加固层(5)的硬度之比为(2-3):1:(2-3)。

3.根据权利要求2所述的用于IGBT模块的密封方法,其特征在于,

所述底部密封层(3)是固化的硅橡胶;

所述稳定层(4)是固化的硅凝胶;

所述顶部加固层(5)是固化的硅橡胶或环氧胶。

4.根据权利要求3所述的用于IGBT模块的密封方法,其特征在于,在步骤S1之前实施如下步骤:

S1a、在真空环境下,将所述硅橡胶、所述硅凝胶和所述环氧胶脱泡处理。

5.根据权利要求4所述的用于IGBT模块的密封方法,其特征在于,在步骤S1中,使用环氧胶固定粘接围框(1)下部与底板(2);

所述围框(1)的热膨胀系数与所述环氧胶的热膨胀系数比例为(0.8-1.2):1。

6.根据权利要求5所述的用于IGBT模块的密封方法,其特征在于,

所述步骤S2中,在所述腔体的下部灌封所述硅橡胶直至所述底部密封层(3)高于芯片组件,静置1min,将所述硅橡胶固化,其中,所述灌封过程在0.1mbar真空环境中进行。

7.根据权利要求5所述的用于IGBT模块的密封方法,其特征在于,

在所述步骤S3中,所述硅凝胶混合方式为活塞式静态混合管混合,灌封过程在0.1mbar真空环境中进行,灌封所述稳定层(4)的步骤如下:

S31、向所述腔体内灌封占所述腔体高度的1/4高度的所述硅凝胶,且覆盖所有金属键合丝(8),静置2min-5min;

S32、继续灌封所述硅凝胶,直至所述硅凝胶的上表面距离所述围框(1)的上表面距离范围为1.5mm-5mm,静置1.5min;

S33、将所述腔体内的所述硅凝胶固化。

8.根据权利要求5所述的用于IGBT模块的密封方法,其特征在于,

所述步骤S4中,在所述稳定层(4)上灌封所述环氧胶或硅橡胶直至顶部加固层(5)厚度达到1.5mm-2.5mm,静置1min,将所述环氧胶或所述硅橡胶固化,其中,所述灌封过程在0.1mbar真空环境中进行。

9.根据权利要求6或7或8所述的用于IGBT模块的密封方法,其特征在于,在步骤S1之前实施如下步骤:

S1b、蒸汽汽相清洗所述围框(1)与所述底板(2),清洗温度70±5℃,蒸汽清洗时间4±1min;

S1c、喷淋清洗所述围框(1)与所述底板(2),清洗温度70±5℃,喷淋时间1±0.5min,

干燥5±2min。

10.根据权利要求9所述的用于IGBT模块的密封方法,其特征在于,在步骤S1与步骤S2之间实施如下步骤:

S1d、在所述腔体的内表面涂覆偶联剂(7),其中,所述偶联剂(7)厚度范围为10μm-30μm;

在所述步骤S2中,所述硅橡胶的厚度范围是1.5mm-2.5mm。

11.根据权利要求10所述的用于IGBT模块的密封方法,其特征在于,

在步骤S1a中,将所述硅橡胶在9mbar-11mbar的真空环境下进行脱泡处理,自转速度为55r/min-65r/min脱泡处理时间为3min-7min;

在步骤S1a中,将所述硅凝胶在4mbar-6mbar的真空环境下进行脱泡处理,搅拌轴转速为55r/min-65r/min,脱泡处理时间为18min-22min;

在步骤S1a中,将所述环氧胶在4mbar-6mbar的真空环境下进行脱泡处理,搅拌轴转速为55r/min-65r/min,脱泡处理时间为8min-12min;

在所述步骤S1中,使用双组份真空备料系统实施脱泡处理;

在所述步骤S2、S3和S4中,使用离线式四轴单嘴双组份真空箱灌胶机实施灌胶,所述硅橡胶固化温度为20℃-30℃,所述硅凝胶固化温度为65℃-75℃,所述环氧胶固化温度为95℃-105℃。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京卫星制造厂有限公司,未经北京卫星制造厂有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202111440828.5/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top