[发明专利]一种自动引线键合弧形量化控制方法

说明书

本发明提供了一种自动引线键合弧形量化控制方法，包括以下过程：步骤1、确定引线键合工艺中影响引线弧形的设备可控工艺参数；步骤2、基于实验数据的量化多元插值算法获取设备可控工艺参数与引线键合几何参数的映射关系，从而实现引线键合弧形量化控制。本发明提出的方案通过基于实测数据的引线键合弧形控制方法可以对引线的弧形进行数据量化精准控制，提升产品引线键合工艺的加工控制精度，改善设计端与制造端的加工一致性。

技术领域

本发明涉及混合集成电路生产自动引线键合工艺领域，特别涉及一种自动引线键合弧形量化控制方法。

背景技术

混合集成电路产品在其制造工艺过程中广泛采用引线键合技术实现射频信号的传输。混合集成电路产品集成度的提高以及工作频段的提升，对引线键合工序金丝的弧形提出了较高要求，特别是毫米波级别的工作频段，其射频传输性性能、幅相一致性、驻波性能对引线键合工艺中弧形十分敏感，但实际生产制造过程中，自动或半自动的引线键合设备均无法直接通过设备加工参数直接精准控制引线键合结构的弧形。

随着电子制造技术的发展，混合集成电路产品的工作频段越来越高，可达40GHZ以上。引线键合工艺对于射频信号传输级联具有很强的灵活性，其在毫米波级混合集成电路产品制造过程中是不可缺少的工艺手段。对于基于引线键合工艺的高频段(40GHZ以上)射频信号的传输，引线的弧形对其射频性能有很大影响，但目前针对引线弧形的控制主要是根据人工经验，通过控制劈刀路径参数来间接控制引线弧形；尚未有成熟有效的引线弧形量化控制的解决方案。

发明内容

针对现有技术中存在的问题，提供了一种自动引线键合弧形量化控制方法，建立引线键合工艺中引线弧形的量化控制的通用解决方案，提升引线键合工艺的射频传输性能。

本发明采用的技术方案如下：一种自动引线键合弧形量化控制方法，其特征在于，包括以下过程：

步骤1、确定引线键合工艺中影响引线弧形的设备可控工艺参数；

步骤2、基于实验数据的量化多元插值算法获取设备可控工艺参数与引线键合几何参数的映射关系，从而实现引线键合弧形量化控制。

进一步的，所述步骤1包括以下子步骤：

步骤1.1、确定引线键合设备中可控工艺参数和弧形量化控制参数；

步骤1.2、通过正交试验分析法确定影响弧形量化控制参数的主要可控工艺参数。

进一步的，所述步骤2包括以下子步骤：

步骤2.1、针对确定的主要可控工艺参数，对单个工艺参数及引线键合几何参数进行控制变量试验；并基于插值算法获取单个工艺参数与引线键合几何参数的映射函数；

步骤2.2、根据映射算法影响线性累加原则，得到多个工艺参数与引线键合几何参数的映射关系。

进一步的，所述步骤1.2的具体过程为：在键合强度满足指标需求的前提下，以极差作为可控工艺参数重要度的量化指标，得到设备可控工艺参数对引线键合几何参数的影响度排名，最后参考实际工艺管控需求，根据重要度选取设备的主要可控工艺参数。

进一步的，所述步骤2.1的具体过程为：

假设主要可控工艺参数集合为根据设备加工能力以及控制颗粒度的需求设置工艺参数xⁿ的实验样本数量k；

根据已确定的设备工艺加工参数的常用经验值作为基准参数方案；

针对工艺参数x¹的实验参数可选集合其中单样本取值表达式为：

其中，m的确定方式为：存在唯一m，在集合中，使得取最小值；