[发明专利]一种自动引线键合弧形量化控制方法

权利要求书

1.一种自动引线键合弧形量化控制方法，其特征在于，包括以下过程：

步骤1、确定引线键合工艺中影响引线弧形的设备可控工艺参数；

步骤2、基于实验数据的量化多元插值算法获取设备可控工艺参数与引线键合几何参数的映射关系，从而实现引线键合弧形量化控制；

所述步骤2包括以下子步骤：

步骤2.1、针对确定的主要可控工艺参数，对单个工艺参数及引线键合几何参数进行控制变量试验；并基于插值算法获取单个工艺参数与引线键合几何参数的映射函数；

步骤2.2、根据映射算法影响线性累加原则，得到多个工艺参数与引线键合几何参数的映射关系；

所述步骤2.1的具体过程为：

假设主要可控工艺参数集合为根据设备加工能力以及控制颗粒度的需求设置工艺参数xⁿ的实验样本数量k；

根据已确定的设备工艺加工参数的常用经验值作为基准参数方案；

针对工艺参数x¹的实验参数可选集合其中单样本取值表达式为：

其中，m的确定方式为：存在唯一m，在集合中，使得取最小值；

最终确定工艺参数x¹样本数为k个实验方案其中，j＝1,2...k，根据实验方案得到对应的引线键合几何参数的实际加工数值集合

基于多项式插值算法，确定适当插值维度数建立工艺参数x¹与引线键合几何参数之间的多项式映射函数f(Δx¹),使得其中为设备加工工艺参数与该参数的样本基准参数之差；按照与工艺参数x¹相同的流程分别建立起工艺参数x²,…,xⁿ和弧高参数H之间的映射函数f(Δx²),...,f(Δxⁿ)。

2.根据权利要求1所述的自动引线键合弧形量化控制方法，其特征在于，所述步骤1包括以下子步骤：

步骤1.1、确定引线键合设备中可控工艺参数和弧形量化控制参数；

步骤1.2、通过正交试验分析法确定影响弧形量化控制参数的主要可控工艺参数。

3.根据权利要求1所述的自动引线键合弧形量化控制方法，其特征在于，所述步骤1.2的具体过程为：在键合强度满足指标需求的前提下，以极差作为可控工艺参数重要度的量化指标，得到设备可控工艺参数对引线键合几何参数的影响度排名，最后参考实际工艺管控需求，根据重要度选取设备的主要可控工艺参数。

4.根据权利要求1所述的自动引线键合弧形量化控制方法，其特征在于，所述步骤2.2的具体过程为：按照参数影响度线性叠加的原则，得到对于任意可控工艺参数集合和引线键合几何参数H之间的映射关系为：

其中，