[发明专利]冷却出气组件、冷却装置及激光退火设备

权利要求书

1.一种冷却出气组件，用于对激光退火设备中工艺腔室(20)的密封盖(22)进行冷却，其特征在于，包括匀流腔室(100)，所述匀流腔室(100)内围成匀流腔体(110)，所述匀流腔体(110)沿第一方向包括进气区(111)、匀流区(112)和出气区(113)，所述匀流腔室(100)与所述进气区(111)相应的腔壁设有进气孔(121)，所述匀流腔室(100)与所述出气区(113)相应的腔壁设有多个出气孔(142)。

2.根据权利要求1所述的冷却出气组件，其特征在于，所述匀流腔室(100)包括盖板(120)、底板(130)和侧围板(140)，所述侧围板(140)围设于所述盖板(120)与所述底板(130)之间；

所述进气孔(121)设于所述盖板(120)与所述进气区(111)相应的区域；和/或，所述出气孔(142)设于所述侧围板(140)与所述出气区(113)相应的区域。

3.根据权利要求2所述的冷却出气组件，其特征在于，沿所述第一方向，所述侧围板(140)背离所述进气区(111)的围板段为条形板(141)；

多个所述出气孔(142)均设于所述条形板(141)，且多个所述出气孔(142)沿所述条形板(141)的长度方向均匀间隔排布；和/或，所述进气孔(121)位于所述盖板(120)背离所述条形板(141)的边缘区域。

4.根据权利要求2所述的冷却出气组件，其特征在于，所述盖板(120)与所述底板(130)平行设置，于所述盖板(120)的延伸面，沿与所述第一方向垂直的第二方向，所述进气孔(121)位于所述盖板(120)的中部位置，所述进气孔(121)连接有进气接头(150)，所述进气接头(150)与所述盖板(120)的延伸面之间的夹角为85°-90°。

5.根据权利要求1-4任一项所述的冷却出气组件，其特征在于，所述匀流腔体(110)内设有过滤层(200)，所述过滤层(200)隔挡于所述进气孔(121)与所述出气孔(142)之间。

6.根据权利要求5所述的冷却出气组件，其特征在于，所述过滤层(200)位于所述匀流区(112)，且所述过滤层(200)的延伸面与所述第一方向垂直设置。

7.根据权利要求1-4任一项所述的冷却出气组件，其特征在于，所述匀流腔室(100)与所述进气区(111)及所述匀流区(112)相应区域的拐角处形成倾斜导流角(160)；

或，所述匀流腔室(100)与所述进气区(111)及所述匀流区(112)相应的区域平滑过渡连接。

8.一种冷却装置，其特征在于，包括供气组件、温度调节组件、温度检测组件、处理器和权利要求1-7任一项所述的冷却出气组件(40)，且所述温度检测组件、所述温度调节组件及所述供气组件均与所述处理器连接；所述冷却出气组件(40)的进气孔(121)与所述供气组件通过进气管路连接，所述温度调节组件与所述供气组件或所述进气管路连接，用于调节流经气体的温度；所述温度检测组件用于检测密封盖(22)的温度。

9.一种激光退火设备，其特征在于，包括工作台(10)、工艺腔室(20)、加热组件(30)和权利要求8所述的冷却装置，所述工艺腔室(20)包括设于所述工作台(10)的工艺腔体(21)和封盖于所述工艺腔体(21)顶部开口的密封盖(22)，所述加热组件(30)的加热部(31)位于所述工艺腔体(21)内；所述冷却装置的冷却出气组件(40)设于所述工作台(10)，且所述冷却出气组件(40)的出气孔(142)朝向所述密封盖(22)；所述冷却装置的温度检测组件设于所述密封盖(22)。

10.根据权利要求9所述的激光退火设备，其特征在于，所述加热部(31)的底部连接有延伸筒(32)，所述延伸筒(32)的底端作为进气端(33)伸出所述工艺腔体(21)的腔底壁，所述延伸筒(32)位于所述工艺腔体(21)内的筒壁设有输气孔(34)，所述工艺腔体(21)的腔侧壁设有排气孔(23)。

11.根据权利要求10所述的激光退火设备，其特征在于，所述排气孔(23)位于所述工艺腔体(21)的顶部区域，所述输气孔(34)位于所述工艺腔体(21)的底部区域。