[发明专利]一种用于硅片深层次加工的抛光装置

说明书

本发明涉及硅片加工技术领域，且公开了一种用于硅片深层次加工的抛光装置，解决了目前市场上用于硅片深加工的抛光装置在使用时，不能对不同规格的硅片进行打磨抛光，以及不方便更换抛光盘的问题，其包括底板，底板顶部的中间位置上固定安装有支撑柱，且在支撑柱的顶端固定安装有支撑板，支撑板底部远离支撑柱的一端上设置有能够上下移动的电机，在电机的输出端上连接有抛光盘，电机输出端与抛光盘的连接处设置有连接栓，底板的顶部设置有能够转动的转动板，且转动板的中间开设有通孔，本发明，能够对不同尺寸规格的硅片进行打磨抛光，并且在更换不同的抛光盘时操作简单方便，既节省了经济的使用，还提高了工作的效率。

技术领域

本发明属于硅片加工技术领域，具体为一种用于硅片深层次加工的抛光装置。

背景技术

硅片制成的芯片是有名的“神算子”，有着惊人的运算能力，无论多么复杂的数学问题、物理问题和工程问题，也无论计算的工作量有多大，工作人员只要通过计算机键盘把问题告诉它，并下达解题的思路和指令，计算机就能在极短的时间内把答案告诉你，这样，那些人工计算需要花费数年、数十年时间的问题，计算机可能只需要几分钟就可以解决，甚至有些人力无法计算出结果的问题，计算机也能很快告诉你答案，由此可见，硅片在如今的科技发展中有着重要的地位。

但是目前市场上用于硅片深加工的抛光装置在使用的时候仍存在一些不足之处，因为硅片的规格也存在有差异，而的抛光装置在使用的时候通常只能对一种规格的硅片进行打磨抛光，在对其他规格的硅片进行加工时还需要更换其他的设备，既增加了经济负担，而且在更换设备的时候还耽误的加工的效率，并且对硅片进行抛光的时候会使用到不同的抛光盘，一般的装置在更换抛光盘的时候操作过于麻烦。

发明内容

针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本发明提供一种用于硅片深层次加工的抛光装置，有效的解决了目前市场上用于硅片深加工的抛光装置在使用时，不能对不同规格的硅片进行打磨抛光，以及不方便更换抛光盘的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种用于硅片深层次加工的抛光装置，包括底板，所述底板顶部的中间位置上固定安装有支撑柱，且在支撑柱的顶端固定安装有支撑板，所述支撑板底部远离支撑柱的一端上设置有能够上下移动的电机，在电机的输出端上连接有抛光盘，所述电机输出端与抛光盘的连接处设置有连接栓，所述底板的顶部设置有能够转动的转动板，且转动板的中间开设有通孔，所述转动板上的通孔套接在支撑柱上，且转动板能够以支撑柱为中心进行转动，在转动板的顶部开设有四个置物槽，且四个置物槽的大小均不相同，且四个置物槽分别位于转动板顶部的四个方向上，四个所述置物槽的中心点均位于同一圆周上。

优选的，所述底板的顶部均匀开设有四个限位圆槽，且在四个限位圆槽的内部均设置有能够转动的限位球，所述转动板的底部开设有环形槽，四个所述限位球的顶端均伸出限位圆槽并位于转动板底部的环形槽内，且四个限位球均能够在环形槽的内部进行滑动。

优选的，所述通孔内壁的中间位置开设有环形凹槽，所述支撑柱外壁的底端固定安装有固定板，所述支撑柱外壁上的固定板位于通孔内的环形凹槽内部并能够在其内部进行转动。

优选的，所述底板的顶部开设有杆槽，在杆槽的内部设置有插杆，所述插杆的底端固定连接有弹簧，且弹簧的底端固定连接在杆槽的底部，所述转动板的底部均匀开设有四个插槽，且四个插槽分被位于四个置物槽的下方，所述插杆的顶端伸出杆槽并插接至其中一个插槽的内部。

优选的，所述杆槽的一侧开设有内槽，且在内槽的内部设置有能够转动的齿轮，所述齿轮侧面的中间位置固定连接有调节栓，且调节栓远离齿轮的一端延伸至底板的外部。

优选的，所述插杆靠近齿轮的一侧开设有齿纹，所述齿轮的一侧伸出内槽并延伸至杆槽的内部与插杆侧面的齿纹啮合连接。