[发明专利]一种无需位移台的半球谐振子修调用组装测试装置及方法

权利要求书

1.一种无需位移台的半球谐振子修调用组装测试装置，其特征在于：包括基板、电极支撑架、方形调整块、谐振子夹头；

所述电极支撑架为由两平行立边和上横边构成的门型支架，所述电极支撑架固定安装在基板上端；所述调整块以沿X、Y和Z轴三个方向可调节的方式固定于基板上端，并置于电极支撑架的内部；

所述电极支撑架上横边的中部为电极基座安装位，用于固定安装电极基座，在电极基座安装位的中心位置设置有通孔；所述谐振子夹头穿过所述通孔，其下端与调整块的上端固定连接，使卡装在谐振子夹头上端部的半球谐振子以间隙配合的方式设置于电极基座的外部；在方形调整块外部沿X轴方向的一侧设置有X向固定立板，在X向固定立板与方形调整块的对应侧面之间设置有X向卡位弹簧，在方形调整块外部沿X轴方向的另一侧设置有X向定位推板，X向定位推板为L形弯板，在X向定位推板的立边和横边上均设置有螺钉安装孔，通过安装螺钉，使X向定位推板及方形调整块整体沿X轴方向可调位式与基板上端固定连接，且使方形调整块与X向定位推板沿Z轴方向可调位式固定连接；在X向定位推板外侧设置有通过细牙螺纹连接于X向螺钉支架上的X向微调螺钉，X向微调螺钉通过球形端头与X向定位推板的外侧接触；

在方形调整块外部沿Y轴方向的一侧设置有Y向固定立板，在Y向固定立板与方形调整块的对应侧面之间设置有Y向卡位弹簧，在方形调整块外部沿Y轴方向的另一侧设置有Y向定位推板，Y向定位推板为L形弯板，在Y向定位推板的立边和横边上均设置有螺钉安装孔，通过安装螺钉，使Y向定位推板及方形调整块整体沿Y轴方向可调位式与基板上端固定连接，且使方形调整块与Y向定位推板沿Z轴方向可调位式固定连接；在Y向定位推板外侧设置有通过细牙螺纹连接于Y向螺钉支架上的Y向微调螺钉，Y向微调螺钉通过球形端头与Y向定位推板的外侧接触。

2.根据权利要求1所述的无需位移台的半球谐振子修调用组装测试装置，其特征在于：在基板上设置有Z向调整螺钉安装孔，在该安装孔内安装有Z向微调螺钉，Z向微调螺钉通过球形端头与方形调整块的底面顶压接触。

3.一种无需位移台的半球谐振子修调用组装测试方法，其特征在于：采用权利要求2所述的无需位移台的半球谐振子修调用组装测试装置，包括如下步骤：

S1、在组装测试装置组装完成后，先将电极基座粘接或通过螺钉连接方式固定在电极支撑架上的电极基座安装位，然后将半球谐振子的中心轴轴下端部插固到谐振子夹头的夹持孔内，使半球谐振子与电极基座Z向间隙为3-5mm；

S2、进行X向间隙调节：

在拧紧连接X向定位推板与方形调整块的螺钉及连接Y向定位推板与基板的螺钉，并松开连接X向定位推板与基板的螺钉及连接Y向定位推板与方形调整块的螺钉后，扭动X向微调螺钉，实现谐振子X向调整；根据以下公式，通过电容检测电路进行电极基座上X向相差180°的两电极与谐振子的间隙测量，

其中C为电极与谐振子间测得的电容值，U为电极与谐振子间的电压，d为电极与谐振子间的间隙；

扭动X向微调螺钉，并同时测试电极基座上X方向相差180°的两电极与谐振子间的电容值，直至两电容值相等；

S3、进行Y向间隙调节：

在拧紧连接X向定位推板与基板的螺钉及连接Y向定位推板与方形调整块的螺钉，并松开连接X向定位推板与方形调整块的螺钉及连接Y向定位推板与基板的螺钉后，扭动Y向微调螺钉，并同时测试电极基座上Y方向相差180°的两电极与谐振子间的电容值，直至两电容值相等；

S4、进行Z向间隙调节：

在拧紧连接X向定位推板与基板的螺钉及连接Y向定位推板与基板的螺钉，并松开连接X向定位推板与方形调整块的螺钉及连接Y向定位推板与方形调整块的螺钉后；扭动Z向微调螺钉，并同时测试任一电极与谐振子间电容值，直至电容值对应间隙达到预定值；

S5、拧紧所有紧固螺钉，完成半球谐振子与电极基座之间在X、Y和Z轴三个方向的间隙调整。