[发明专利]一种钛基燃料电池双极板涂层的制备方法在审
| 申请号： | 202111355085.1 | 申请日： | 2021-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN114277344A | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 赵延飞;刘瑶瑶;张益豪;李龙博 | 申请（专利权）人： | 中国船舶重工集团公司第七二五研究所 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/02;C23C14/06;C23C14/16;C23C14/54 |
| 代理公司： | 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) 41120 | 代理人： | 常晓虎 |
| 地址： | 471000 河南*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 燃料电池 极板 涂层 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种钛基燃料电池双极板涂层的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤一、对钛金属双极板进行超声波清洗并用酒精擦拭表面，然后将钛金属双极板放入磁控溅射镀膜设备的内腔，将设备内腔抽真空至1×10-6Torr，再向设备内腔通入氩气，并控制设备内腔的真空度在1×10-6~10Torr，开启钛靶，控制钛靶电流为0.1~20 A，偏压为-1000~0 V，时间30 ~40 min，对钛金属双极板的表面进行清洗；
步骤二、控制钛靶电流为0.1~20 A，偏压为-500~0 V，时间1~2h，在钛金属双极板的表面沉积钛过渡层；
步骤三、保持步骤二的钛靶电流和偏压不变，向设备内腔通入C7H8气体，开启石墨靶，调节石墨靶电流由0 A逐渐增加至 20 A，在钛过渡层的表面沉积a-C:H:Ti中间层；
步骤四、关闭钛靶，控制石墨靶电流为0.5~20 A，偏压为-200~0 V，时间2~4h，在a-C:H:Ti中间层的表面沉积类石墨镀层，即完成涂层的制备。
2.根据权利要求1所述的一种钛基燃料电池双极板涂层的制备方法，其特征在于：步骤一中，通过机械泵与分子泵对设备内腔进行抽真空。
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