[发明专利]一种三氯化镓制粒包装装置及方法有效

专利信息
申请号: 202111349636.3 申请日: 2021-11-15
公开(公告)号: CN114210259B 公开(公告)日: 2023-10-24
发明(设计)人: 刘华胜;徐成;胡郑周;周声万 申请(专利权)人: 广东先导微电子科技有限公司
主分类号: B01J2/06 分类号: B01J2/06;B01J19/14;B65B1/00;B65B39/00;C01G15/00
代理公司: 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 代理人: 朱伟雄
地址: 511517 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 氯化 镓制粒 包装 装置 方法
【说明书】:

发明公开了三氯化镓制粒包装装置,包括:反应器、制粒软管、压力平衡器、惰性气体单元、真空单元和产品包装瓶,制粒软管可拆卸地设于压力平衡器内,反应器通过导流管与制粒软管连通,真空单元通过抽真空管道分别与制粒软管、压力平衡器连通,惰性气体单元通过惰性气体管道分别与压力平衡器、制粒软管连通,制粒软管包括软管本体,软管本体的一端开口设有与软管本体开口密封适配的转接接头,转接接头可与导流接头、堵头或产品包装瓶的瓶口密封连接,导流接头与导流管、抽真空管道密封连接。还提供三氯化镓制粒包装方法。该方法成本低、操作简单便捷,安全环保、产能大效率高,运行平稳可靠,易于批量化生产,且产品纯度高而稳定。

技术领域

本发明属于精细化工生产领域,尤其涉及一种三氯化镓制粒包装装置及方法。

背景技术

无水三氯化镓分子式为GaCl3,密度为2.47g/cm3(25℃),熔点为78℃,沸点为201.3℃。三氯化镓为白色或无色针状结晶,在空气中易吸湿潮解,其操作及保存需在无水无氧条件下进行。三氯化镓具有强烈的腐蚀性,对大多数的有机高分子材料、金属材料有腐蚀作用,其生产制备、制粒、包装保存都需使用抗腐蚀的材料。

现有的三氯化镓制粒包装方法报道较少,主要是:将三氯化镓装入带细管的烧瓶中,加热烧瓶至85℃以上使三氯化镓熔融,通过细管把烧瓶内三氯化镓滴入到液氮中冷却成固体颗粒,在干燥的气氛中除去液氮,可以得到粒状三氯化镓。

上述三氯化镓制粒包装方法,需将三氯化镓装入到烧瓶中加热熔融,再通过细管把烧瓶内三氯化镓滴入到液氮中冷却成固体颗粒,操作繁琐,产能低下,滴加三氯化镓的细管在液氮上方,极易被冷却而堵塞管道,生产不稳定,不能适用于大规模生产。

发明内容

针对现有技术中存在的上述问题,本发明的目的在于,提供一种构成部件简单、成本低、操作简单便捷、操作安全环保、产能大效率高、运行平稳可靠的三氯化镓制粒包装装置,还提供一种成本低、操作简单便捷,过程安全环保、产能大效率高,运行平稳可靠,安全风险低,易于批量化生产、有可持续性,且产品纯度高而稳定的三氯化镓制粒包装方法。

为了达到上述目的,本发明采用了以下技术方案:

一种三氯化镓的制粒包装装置,包括:

反应器、制粒软管、压力平衡器、惰性气体单元、真空单元和产品包装瓶,所述制粒软管可拆卸地设于所述压力平衡器内,所述反应器通过导流管与制粒软管连通,所述真空单元通过抽真空管道分别与制粒软管、压力平衡器连通,所述惰性气体单元通过惰性气体管道分别与压力平衡器、制粒软管连通,所述制粒软管包括软管本体,所述软管本体的两端开口,一端开口用堵头密封,另一端开口设有与软管本体开口密封适配的转接接头,所述转接接头可与导流接头、堵头或产品包装瓶的瓶口密封连接,所述导流接头与导流管、以及与和制粒软管连通的抽真空管道密封连接。

所述软管本体的两端开口,一端开口用堵头密封,另一端开口且设有与软管本体开口密封适配的导流接头或转接接头,所述导流接头与导流管、以及与和制粒软管连通的抽真空管道密封连接,所述转接接头可与堵头、产品包装瓶的瓶口密封连接。

作为优选,所述惰性气体单元包括惰性气体缓冲罐,所述惰性气体缓冲罐分别通过惰性气体管道与惰性气体源、压力平衡器、制粒软管连接;

所述真空单元包括真空缓冲罐和真空泵,所述真空缓冲罐分别通过抽真空管道与真空泵、压力平衡器、制粒软管连接。

作为优选,所述惰性气体缓冲罐通过管道与真空缓冲罐连接,且该管道上设有开关阀。

作为优选,所述惰性气体管道包括惰性气体主管道和惰性气体支管道,所述惰性气体缓冲罐的出口与惰性气体主管道连通,所述惰性气体主管道通过一惰性气体支管道与压力平衡器连通,通过另一惰性气体支管道与导流管连通。

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