[发明专利]一种三氯化镓制粒包装装置及方法

权利要求书

1.一种三氯化镓的制粒包装装置，其特征在于，包括：

反应器（1）、制粒软管（3）、压力平衡器（2）、惰性气体单元、真空单元和产品包装瓶（7），所述制粒软管（3）可拆卸地设于所述压力平衡器（2）内，所述反应器（1）通过导流管与制粒软管（3）连通，所述真空单元通过抽真空管道分别与制粒软管（3）、压力平衡器（2）连通，所述惰性气体单元通过惰性气体管道分别与压力平衡器（2）、制粒软管（3）连通，所述制粒软管（3）包括软管本体，所述软管本体的两端开口，一端开口用堵头密封，另一端开口设有与软管本体开口密封适配的转接接头（32），所述转接接头（32）可与导流接头（31）、堵头（33）或产品包装瓶（7）的瓶口密封连接，所述导流接头（31）与导流管、以及与和制粒软管（3）连通的抽真空管道密封连接。

2.如权利要求1所述的三氯化镓的制粒包装装置，其特征在于，所述惰性气体单元包括惰性气体缓冲罐（4），所述惰性气体缓冲罐（4）分别通过惰性气体管道与惰性气体源、压力平衡器（2）、制粒软管（3）连接；

所述真空单元包括真空缓冲罐（5）和真空泵（6），所述真空缓冲罐（5）分别通过抽真空管道与真空泵（6）、压力平衡器（2）、制粒软管（3）连接。

3.如权利要求2所述的三氯化镓的制粒包装装置，其特征在于，所述惰性气体缓冲罐（4）通过管道与真空缓冲罐（5）连接，且该管道上设有开关阀。

4.如权利要求2所述的三氯化镓的制粒包装装置，其特征在于，所述惰性气体管道包括惰性气体主管道和惰性气体支管道，所述惰性气体缓冲罐（4）的出口与惰性气体主管道连通，所述惰性气体主管道通过一惰性气体支管道与压力平衡器（2）连通，通过另一惰性气体支管道与导流管连通。

5.如权利要求1所述的三氯化镓的制粒包装装置，其特征在于，所述压力平衡器（2）包括压力平衡器本体及可拆卸盖帽（21），所述压力平衡器本体一端开口且用可拆卸盖帽（21）密封；所述可拆卸盖帽（21）上设有用于容纳所述导流管、所述和制粒软管（3）连通的抽真空管道通过的通孔；

所述压力平衡器本体的侧壁上设有两开口，所述两开口分别与所述抽真空管道和惰性气体管道连通。

6.一种三氯化镓制粒包装方法，其特征在于，采用权利要求1～5任意一项所述的制粒装置进行制粒包装，包括如下步骤：

S1、装料：控制反应器（1）的温度为85～140℃，将制粒软管（3）置于压力平衡器（2）内，并将其他各部件按照权利要求1～5任意一项所述的连接关系进行连接，通过控制真空单元抽真空来控制制粒软管（3）和压力平衡器（2）内为负压状态，打开导流管的阀门，利用压力差使反应器内的三氯化镓液体导入到制粒软管（3）中，待导入完成后，关闭导流管阀门，关闭真空单元，然后控制惰性气体单元往制粒软管（3）和压力平衡器（2）内充入惰性保护气体，使制粒软管（3）和压力平衡器（2）恢复常压；

S2、打开压力平衡器（2），取下导流接头（31），将装有三氯化镓的制粒软管（3）取出，并立即用堵头（33）将转接接头（32）密封，再将制粒软管（3）转移至冷却区域，将三氯化镓冷却为固体；

S3、使用管径匹配的压管器挤压制粒软管（3），使管内的三氯化镓固体碎裂成块，完成破碎造粒过程；

S4、将密封制粒软管（3）的堵头（33）取下，并将转接接头（32）快速接入产品包装瓶（7），使三氯化镓颗粒全部流入产品包装瓶（7），拆下制粒软管（3），将产品包装瓶（7）密封，即可。

7.如权利要求6所述的三氯化镓制粒包装方法，其特征在于，步骤S1中，所述控制制粒软管（3）和压力平衡器（2）内为负压状态为：将制粒软管（3）和压力平衡器（2）的压力控制为-0.06～-0.02MPa。

8.如权利要求6所述的三氯化镓制粒包装方法，其特征在于，所述制粒软管（3）的材质为PFA或FEP；所述制粒软管（3）为圆柱型，直径为10～100mm，高度为200～2000mm。