[发明专利]一种测量表面等离激元纳米结构局域温度的电学纳米温度计及测温方法

权利要求书

1.一种测量表面等离激元纳米结构局域温度的电学纳米温度计，其特征在于，所述电学纳米温度计包括绝热衬底以及在绝热衬底上构造的金属三角天线和金属传感条，金属三角天线的顶点正对金属传感条的中心，两者相距一个纳米隙，金属传感条两端各连接两个电极终端，电压表和含源电流表分别通过金属传感条两端的电极终端连接金属传感条；

所述金属三角天线的边长为1-2μm，金属传感条的长度为500-800nm，宽度为100-300nm，两者厚度相等，为10-100nm；所述纳米隙的宽度为10-120nm。

2.根据权利要求1所述的测量表面等离激元纳米结构局域温度的电学纳米温度计，其特征在于，所述绝热衬底为硅片、玻璃和蓝宝石中的一种。

3.根据权利要求1所述的测量表面等离激元纳米结构局域温度的电学纳米温度计，其特征在于，在绝热衬底上构造金属三角天线和金属传感条的方法为EBL和蒸镀。

4.根据权利要求1所述的测量表面等离激元纳米结构局域温度的电学纳米温度计，其特征在于，所述金属三角天线、金属传感条和电极的制作材料为铂、金和镍中的一种。

5.采用如权利要求1-4任一项所述的测量表面等离激元纳米结构局域温度的电学纳米温度计的测温方法，所述测温方法包括以下步骤：

标定：通过外部温控装置将金属传感条温度控制在78-750K之间，并每隔一定数值的温度通过伏安法测量金属传感条的电阻，拟合得到电阻-温度线性关系；

测温：将一束激光聚焦于金属三角天线正中心，稳定后通过伏安法测量金属传感条的电阻，根据标定所得电阻-温度线性关系，得到由表面等离激元光热效应引起的局部温度。

6.根据权利要求5所述的测温方法，其特征在于，所述激光为连续或脉冲激光，波长为500-800nm，光斑直径为0.8-2μm。