[发明专利]一种DPC陶瓷镀铜基板结合力检测方法在审

专利信息
申请号: 202111301182.2 申请日: 2021-11-04
公开(公告)号: CN114002260A 公开(公告)日: 2022-02-01
发明(设计)人: 余龙;贺贤汉;孔进进;马敬伟;王松;张进 申请(专利权)人: 江苏富乐华半导体科技股份有限公司
主分类号: G01N25/00 分类号: G01N25/00
代理公司: 北京华际知识产权代理有限公司 11676 代理人: 张强
地址: 224200 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 dpc 陶瓷 镀铜 板结 合力 检测 方法
【权利要求书】:

1.一种DPC陶瓷镀铜基板结合力检测方法,其特征在于,包括以下步骤:

S1.制备烘烤治具;

S2.将陶瓷覆铜板按照治具镂空格栅间隔,依次摆放入治具内,之后将治具移入高温氮气烘箱;

S3.关闭烘箱门,加热前0.5-1小时对其内部通入氮气,使用氧含量测试仪对其内部氧含量进行检测;

S4.烘箱内氧含量低于氧含量额定值时,打开烘箱,进行加热,升温至350℃,保温5分钟后,结束加热;

S5.结束加热后,炉内充入氮气降温,降至50℃后,取出产品,观察判定。

2.根据要求1所述的一种DPC陶瓷镀铜基板结合力检测方法,其特征在于,步骤S1中,所述烘烤治具制备材料为304不锈钢。

3.根据权利要求1所述的一种DPC陶瓷镀铜基板结合力检测方法,其特征在于,步骤S1中,所述烘烤治具包括承托主体和手持把手;

其中承托主体包括承托底座(1),分置于承托底座两侧的左金属支撑板(2)和右金属支撑板(2)以及镂空格栅(5)和与之相接的金属加固板(4),其中所述左金属支撑板(2)、右金属支撑(3)和镂空格栅(5)相接形成矩形框架,所述金属加固板(4)固定在镂空格栅(5)外侧,起到结构加强作用,所述承托底座(1)与所述矩形框架相连接,在承托底座上方形成镂空空间;

其中手持把手包括把手(6)和挂钩孔(7)组成,所述把手(6)安装在承托底座(1)的中间部分,将镂空空间均分为两部分;所述挂钩孔(7)置于把手(6)上部。

4.根据权利要求1所述的一种DPC陶瓷镀铜基板结合力检测方法,其特征在于,步骤S4中,所述氧含量额定值为100ppm。

5.根据权利要求1所述的一种DPC陶瓷镀铜基板结合力检测方法,其特征在于,步骤S4中,烘箱加热速率为20℃/min。

6.根据权利要求1所述的一种DPC陶瓷镀铜基板结合力检测方法,其特征在于,步骤S1中,所述烘烤治具的制备,包括以下步骤:

S11.使用304不锈钢材,切割制备烘烤治具各组成部分;

S12.通过电焊的方式将S11中制得的烘烤治具各组成部分焊接到一起,并对各组成部分的边角进行打磨处理,去除其尖锐棱角;

S13.将焊接在一起且经过打磨的烘烤治具,完全浸入聚苯并咪唑溶液内,取出后,置于烘箱内300℃烘干,即可得成品烘烤治具。

7.根据权利要求6所述的一种DPC陶瓷镀铜基板结合力检测方法,其特征在于,步骤S13中,所述聚苯并咪唑溶液制备方法包括如下步骤:

a.将多聚磷酸与芳香四元胺加入至反应容器内,升温加热至120-160℃,保温12-48小时,通入氮气保护,并不断搅拌;

b.保温结束后,升温至200-220℃,继续在反应容器内加入五氧化二磷和不含氨基二元酸,反应5-30小时后,得到聚合物;

c.将聚合物倒入低碱性液体中浸泡24-48小时后过滤洗涤,真空烘干后即可得聚苯并咪唑聚合物;

d.将聚苯并咪唑聚合物溶于有机溶液内,即可得聚苯并咪唑溶液。

8.根据权利要求7所述的一种DPC陶瓷镀铜基板结合力检测方法,其特征在于:所述芳香四元胺为3,3’,4,4’-四氨基二苯醚、3,3’,4,4’-四氨基联苯、3,3’,4,4’-四氨基二苯硫醚等联苯四胺化合物中的一种;所述不含氨基二元酸为间苯二甲酸、对苯二甲酸、4,4’-二羧基二苯砜、4,4’-二羧基二苯甲烷、4,4’-二羧基二苯酮和4,4’-二羧基二苯醚中的一种,所述有机溶剂为二甲基亚砜。

9.根据权利要求7所述的一种DPC陶瓷镀铜基板结合力检测方法,其特征在于:按重量份数计,所述多聚磷酸、芳香四元胺、五氧化二磷和不含氨基二元酸的比例为(140-160):(2.5-5):(4-5):(2-3);所述聚苯并咪唑溶液质量浓度为5-15wt%。

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