[发明专利]一种分析电解法制备三氟化氮粗气成分用的干燥装置

说明书

本发明提供了一种分析电解法制备三氟化氮粗气成分用的干燥装置，其特征在于，包括安装外壳，安装外壳的两端分别设置有盖板，一端盖板的中部设置有进气口，另一端盖板的中部设置有出气口，安装外壳内转动设置有旋转筒，旋转筒内卡接设置有硅胶块，硅胶块内设置有多个上下贯通的通气孔，进气口处转动设置有转动环，转动环内固定设置有风轮，转动环与旋转筒相连接。本发明三氟化氮粗气进入进气口，驱动旋转筒转动，进而带动硅胶块转动，气体呈螺旋上升的形状穿过硅胶块上的通气孔加大了三氟化氮粗气与硅胶块的接触面积以及接触时间，从而提高了三氟化氮粗气的干燥效果，装置可拆卸便于拆装。

技术领域

本发明属于三氟化氮粗气干燥技术领域，具体涉及一种分析电解法制备三氟化氮粗气成分用的干燥装置。

背景技术

三氟化氮作为一种无色无味低毒且不可燃的气体，是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体，其对硅和氮化硅的蚀刻速率比四氟化碳和四氟化碳与氧气的混合气体更高，选择性更好，在被蚀刻物表面不留任何残留物，同时也是非常良好的清洗剂。因此，在液晶面板制造、半导体加工、太阳能电池制造中应用广泛。随着纳米技术和电子工业大规模的发展，其需求量日益增加。三氟化氮生产技术多采用的是电解法，电解槽中生产出三氟化氮粗气，经过净化、精馏后方可得到电子级三氟化氮成品。

现有的电解法制备三氟化氮粗气成分的快速分析装置中，其仅仅是简单的采用硅胶对三氟化氮粗气进行干燥，存在着三氟化氮粗气与硅胶接触不完全，导致三氟化氮粗气被干燥不彻底的问题，进而影响后续的分析，使得分析结构不准确。同时硅胶具有使用寿命，为了保持干燥效率需要定期更换新的硅胶，但是现有的电解法制备三氟化氮粗气成分的快速分析装置中，硅胶简单的固定安装在相应的干燥管道内，不方便使用者拆装更换。

发明内容

本发明所要解决的技术问题在于针对上述现有技术的不足，提供一种分析电解法制备三氟化氮粗气成分用的干燥装置，该干燥装置在三氟化氮粗气进入进气口，驱动旋转筒转动，进而带动硅胶块转动，气体呈螺旋上升的形状穿过硅胶块上的通气孔加大了三氟化氮粗气与硅胶块的接触面积以及接触时间，从而提高了三氟化氮粗气的干燥效果，装置可拆卸便于拆装。

为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是：一种分析电解法制备三氟化氮粗气成分用的干燥装置，包括安装外壳，所述安装外壳的两端分别设置有盖板，一端所述盖板的中部设置有进气口，另一端所述盖板的中部设置有出气口，所述安装外壳内转动设置有旋转筒，所述旋转筒内卡接设置有硅胶块，所述硅胶块内设置有多个上下贯通的通气孔，所述进气口处转动设置有转动环，所述转动环内固定设置有风轮，所述转动环与所述旋转筒相连接。

优选地，所述旋转筒转动通过第一密封轴承配置于所述安装外壳内部，且与所述安装外壳同轴设置。

优选地，所述转动环通过第二密封轴承转动配置于所述进气口内，且与所述旋转筒同轴设置。

优选地，所述转动环与所述旋转筒之间为可拆卸式连接，所述盖板与所述安装外壳之间为可拆卸式连接。

优选地，所述转动环通过连接件与所述旋转筒连接，所述连接件包括连接杆、卡接杆和卡接块，所述卡接块固定配置于所述旋转筒的外侧壁上，所述卡接杆与所述旋转筒平行，且通过所述连接杆与所述转动环固定连接，所述卡接块上开设有用于插接卡接杆的卡槽。

优选地，所述硅胶块的两端均通过限位组件卡接于所述旋转筒的端口处，所述限位组件包括相互垂直设置的安装杆和固定杆，所述旋转筒的侧壁上开设有固定槽，所述固定槽与所述安装杆端部相配合，所述固定杆固定配置于所述安装杆的端部，所述固定槽的侧壁内上开设有插槽，所述固定杆过盈插接于所述插槽内。

优选地，所述限位组件还包括与所述安装杆垂直设置的定位杆，所述定位杆平行设置于所述固定杆的内侧。

优选地，靠近所述旋转筒一侧的固定杆侧壁设置有弹性材料制成的弹性部，且所述弹性部向所述固定杆外侧凸起。