[发明专利]一种基于受抑全内反射分光的散斑抑制装置在审
申请号: | 202111214491.6 | 申请日: | 2021-10-19 |
公开(公告)号: | CN113900267A | 公开(公告)日: | 2022-01-07 |
发明(设计)人: | 仝召民;燕宇翔 | 申请(专利权)人: | 山西大学 |
主分类号: | G02B27/48 | 分类号: | G02B27/48;G02B7/18 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 张影 |
地址: | 030006 山*** | 国省代码: | 山西;14 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 受抑全内 反射 分光 抑制 装置 | ||
本发明提供了一种基于受抑全内反射分光的散斑抑制装置,包括:第一玻璃基底、图形化纳米薄膜、粘接层、间隔子、第二玻璃基底、道威棱镜;一束激光经所述道威棱镜进入所述散斑抑制装置,经过所述第一玻璃基底、所述粘接层的多次透射,经过所述第二玻璃基底的多次全反射,在所述图形化纳米薄膜发生受抑全内反射现象,最终形成一组光强相同的非相干出射激光束,达到了破坏激光相干性和抑制散斑的目的。与现有技术相比,本申请提供的散斑抑制装置具有零功耗,静态,体积小等优势。
技术领域
本发明涉及光学设计技术领域,更具体地说,涉及一种基于受抑全内反射分光的散斑抑制装置。
背景技术
激光具有很好的单色性,当一束激光穿过粗糙面时,透射光之间会因激光的相干性发生干涉现象,呈现出光强分布不均匀的明暗相间的激光散斑。为了避免因为激光散斑降低图像质量的问题发生,必须将散斑现象抑制掉。
基于此,本领域技术人员发现被分束后的激光对散斑现象具有有效的抑制作用。
目前虽然有一些可行的分光系统及设备,但大多是通过镀50%反射膜来实现分光。通过镀50%反射膜分光,虽然可以增加分光数目并且使出射光光强相同,但是目前这些分光系统中的独立分光元件比较多,会导致光路复杂,系统体积大。比如专利号为:CN102380712 A的专利内容。
发明内容
有鉴于此,为解决上述问题,本发明提供一种基于受抑全内反射分光的散斑抑制装置,技术方案如下:
一种基于受抑全内反射分光的散斑抑制装置,所述散斑抑制装置包括:
相对设置的第一玻璃基底和第二玻璃基底;
设置在所述第一玻璃基底和所述第二玻璃基底之间的粘结层;
设置在所述粘结层与所述第一玻璃基底之间的图形化纳米薄膜;
设置在所述第一玻璃基底和所述第二玻璃基底之间的间隔子;
设置在所述第一玻璃基底背离所述第二玻璃基底一侧的道威棱镜;
其中,入射激光束从所述道威棱镜入射,在所述第一玻璃基底和所述粘结层处透射,在所述图形化纳米薄膜发生受抑全内反射,在所述第二玻璃基底处发生全反射,形成一组光强相同的非相干出射激光束。
优选的,在上述散斑抑制装置中,所述图形化纳米薄膜包括多层依次堆叠的纳米薄膜层;
在第一方向上,多层依次堆叠的纳米薄膜层在所述第一玻璃基底上的正投影覆盖面积逐渐减小;
在所述第一方向上,多层依次堆叠的纳米薄膜层的厚度逐层递减;
其中,所述第一方向垂直于所述第一玻璃基底,且由所述第一玻璃基底指向所述第二玻璃基底。
优选的,在上述散斑抑制装置中,所述图形化纳米薄膜的折射率小于所述第一玻璃基底、所述第二玻璃基底和所述粘接层的折射率。
优选的,在上述散斑抑制装置中,所述道威棱镜的左底角角度与右底角角度和所述入射激光束在所述第二玻璃基底和所述图形化纳米薄膜上的反射角角度相等。
优选的,在上述散斑抑制装置中,所述入射激光束可为单个或一维阵列的相干激光。
优选的,在上述散斑抑制装置中,所述第二玻璃基底的厚度在毫米量级,用于破坏所述入射激光束的时间相干性。
优选的,在上述散斑抑制装置中,所述粘接层使用折射率与所述第一玻璃基底和所述第二玻璃基底折射率相同或差值满足预设阈值的无影胶填充。
优选的,在上述散斑抑制装置中,所述道威棱镜的折射率与所述第一玻璃基底和所述第二玻璃基底的折射率相同或差值满足预设阈值。
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