[发明专利]一种基于受抑全内反射分光的散斑抑制装置

权利要求书

1.一种基于受抑全内反射分光的散斑抑制装置，其特征在于，所述散斑抑制装置包括：

相对设置的第一玻璃基底和第二玻璃基底；

设置在所述第一玻璃基底和所述第二玻璃基底之间的粘结层；

设置在所述粘结层与所述第一玻璃基底之间的图形化纳米薄膜；

设置在所述第一玻璃基底和所述第二玻璃基底之间的间隔子；

设置在所述第一玻璃基底背离所述第二玻璃基底一侧的道威棱镜；

其中，入射激光束从所述道威棱镜入射，在所述第一玻璃基底和所述粘结层处透射，在所述图形化纳米薄膜发生受抑全内反射，在所述第二玻璃基底处发生全反射，形成一组光强相同的非相干出射激光束。

2.根据权利要求1所述的散斑抑制装置，其特征在于，所述图形化纳米薄膜包括多层依次堆叠的纳米薄膜层；

在第一方向上，多层依次堆叠的纳米薄膜层在所述第一玻璃基底上的正投影覆盖面积逐渐减小；

在所述第一方向上，多层依次堆叠的纳米薄膜层的厚度逐层递减；

其中，所述第一方向垂直于所述第一玻璃基底，且由所述第一玻璃基底指向所述第二玻璃基底。

3.根据权利要求1所述的散斑抑制装置，其特征在于，所述图形化纳米薄膜的折射率小于所述第一玻璃基底、所述第二玻璃基底和所述粘接层的折射率。

4.根据权利要求1所述的散斑抑制装置，其特征在于，所述道威棱镜的左底角角度与右底角角度和所述入射激光束在所述第二玻璃基底和所述图形化纳米薄膜上的反射角角度相等。

5.根据权利要求1所述的散斑抑制装置，其特征在于，所述入射激光束可为单个或一维阵列的相干激光。

6.根据权利要求1所述的散斑抑制装置，其特征在于，所述第一玻璃基底和所述第二玻璃基底的材料相同。

7.根据权利要求1所述的散斑抑制装置，其特征在于，所述第二玻璃基底的厚度在毫米量级，用于破坏所述入射激光束的时间相干性。

8.根据权利要求1所述的散斑抑制装置，其特征在于，所述粘接层使用折射率与所述第一玻璃基底和所述第二玻璃基底折射率相同或差值满足预设阈值的无影胶填充。

9.根据权利要求1所述的散斑抑制装置，其特征在于，所述道威棱镜的折射率与所述第一玻璃基底和所述第二玻璃基底的折射率相同或差值满足预设阈值。

10.一种基于受抑全内反射分光的散斑抑制装置，其特征在于，所述散斑抑制装置包括：两个如权利要求1-9任一项所述的散斑抑制装置；

第一个所述散斑抑制装置与第二个所述散斑抑制装置通过级联的方式组合，第一个所述散斑抑制装置的出射激光束作为第二个所述散斑抑制装置的入射激光束。