[发明专利]一种自动插片机移载托片装置有效

专利信息
申请号: 202111194097.0 申请日: 2021-10-13
公开(公告)号: CN113644016B 公开(公告)日: 2021-12-14
发明(设计)人: 冯显火 申请(专利权)人: 江苏泰明易自动化设备有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L31/18
代理公司: 北京市领专知识产权代理有限公司 11590 代理人: 黄龙龙
地址: 226000 江苏省南*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 自动 插片机移载托片 装置
【说明书】:

发明公开了一种自动插片机移载托片装置,包括若干个移载装置和将其连接的移载条,所述移载条为多层结构,所述移载条包括条主体,所述条主体外侧为接触部,所述条主体内侧为耐磨层,所述移载装置包括外框,所述外框内部底面设有工字板,所述工字板上方设有匚条,所述匚条两端上方设有边固定块,两个边固定块之间设有水平角度支撑架,所述水平角度支撑架的侧面设有垂直角度支撑架,所述垂直角度支撑架上方通过上弧板固定有两个轴承,所述轴承套设在槽辊的两端,所述槽辊内部设有碳纤维杆,所述耐磨层的轮廓呈半圆形,所述接触部的外圆为平面。该自动插片机移载托片装置,具有良好的承载能力,托片结构稳定可靠,适合普遍推广使用。

技术领域

本发明属于机械自动化设备技术领域,具体涉及一种自动插片机移载托片装置。

背景技术

目前在太阳能电池扩散制程工艺中通常使用石英舟作为硅片的承载件,由于是用于在石英炉管内进行扩散工艺其耐受温度可达800℃以上。

现有自动插片机的移载托片装置常常使用橡胶材质的环传动带动插片移动,而且现有的插片机移载托片装置通过线辊带动橡胶环移动硅片时,往往需要保持硅片较为稳定的移载状态,而线辊若不能保证正确的相对位置则可能让硅片偏出硅片承托装置,从而让导致硅片损坏;

为了保证良好的运输精度,现有的自动插片机的移载托片装置在安装时往往需要进行繁琐的调整,但通常不具有全向调整功能。

发明内容

本发明的目的在于提供一种自动插片机移载托片装置,以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种自动插片机移载托片装置,包括若干个移载装置和将其连接的移载条;

所述移载条为多层结构,所述移载条包括条主体,所述条主体外侧为接触部,所述条主体内侧为耐磨层;

所述移载装置包括外框,所述外框内部底面设有工字板,所述工字板上方设有匚条,所述匚条两端上方设有边固定块,两个边固定块之间设有水平角度支撑架,所述水平角度支撑架的侧面设有垂直角度支撑架,所述垂直角度支撑架上方通过上弧板固定有两个轴承,所述轴承套设在槽辊的两端,所述槽辊内部设有碳纤维杆。

优选的,所述耐磨层的轮廓呈半圆形,所述接触部的外圆为平面。

优选的,所述外框的轮廓呈矩形框状,所述外框的顶面开有水平口,所述外框的侧壁开有垂直口,所述外框的底面开有沉孔和框螺纹孔,所述框螺纹孔位于外框的底面两端;

所述工字板两端的T形部分内开有工板螺纹孔和Y轴滑槽;

所述匚条为开口向上的U形结构,所述匚条的底面两端开有X轴滑槽,所述匚条两端的垂直部分内开有Z轴滑槽。

优选的,所述Y轴滑槽内部设有穿过Y轴垫片的Y轴螺丝,所述Y轴螺丝进入框螺纹孔内部,所述X轴滑槽内部设有穿过X轴垫片的X轴螺丝,所述X轴螺丝进入工板螺纹孔内部。

优选的,所述Z轴滑槽内部设有穿过Z轴垫片的Z轴螺丝,所述Z轴螺丝进入边固定块垂直部分的螺纹孔内,所述水平角度支撑架两端侧面各插接固定有水平的水平螺栓,所述水平角度支撑架的一端内部开有水平定孔,所述水平角度支撑架的另一端内部开有水平角度槽,所述水平定孔和水平角度槽内部均设有穿过水平角度垫片的水平角度螺丝,所述水平角度螺丝进入边固定块水平部分中的螺纹孔内。

优选的,所述垂直角度支撑架的两端各设有一个立板,所述立板上端均设有下弧板,其中一个立板下端开有垂直定孔,另一个立板内开有垂直角度槽,其中一个水平螺栓穿过垂直定孔,另一个水平螺栓穿过垂直角度槽,所述水平螺栓外部套设有垂直角度垫片和垂直角度螺母,所述上弧板位于下弧板上方,所述上弧板两端内部的通孔中设有夹持螺丝,所述夹持螺丝拧入下弧板两端的螺纹孔内,所述轴承位于下弧板和上弧板之间。

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