[发明专利]锥形结构的石墨基板

权利要求书

1.一种石墨基板，其特征在于，所述石墨基板(100)为中部凸起的锥形结构(110)，所述石墨基板(100)上具有多个用于放置衬底的凹槽(100a)，所述凹槽(100a)均布在所述锥形结构(110)的锥形面上，且所述凹槽(100a)的底面与所述石墨基板(100)的底面呈角度设置。

2.根据权利要求1所述的石墨基板，其特征在于，从所述石墨基板(100)的中心至所述石墨基板(100)的边缘，所述凹槽(100a)的底面与所述石墨基板(100)的底面的夹角θ逐渐减小，0°＜θ＜90°。

3.根据权利要求2所述的石墨基板，其特征在于，所述锥形结构(110)的锥形面与所述石墨基板(100)的底面的夹角为α，0.5°＜α＜10°。

4.根据权利要求1所述的石墨基板，其特征在于，所述石墨基板(100)的顶部分布有多个导气沟槽(100b)，每个所述导气沟槽(100b)均为环形槽，所述环形槽与所述石墨基板(100)同心设置。

5.根据权利要求4所述的石墨基板，其特征在于，所述石墨基板(100)的顶部均布有n个所述导气沟槽(100b)，1≤n≤10。

6.根据权利要求1所述的石墨基板，其特征在于，所述石墨基板(100)的顶部分布有多个导气沟槽(100b)，多个所述导气沟槽(100b)均为弧形槽，多个所述弧形槽均与所述石墨基板(100)同心设置，且多个所述环形槽位于同一圆周上。

7.根据权利要求6所述的石墨基板，其特征在于，多个所述导气沟槽(100b)沿所述石墨基板(100)的周向等距间隔布置。

8.根据权利要求6所述的石墨基板，其特征在于，所述石墨基板(100)的顶部均布有m个所述导气沟槽(100b)，2≤m≤12。

9.根据权利要求4至8任一项所述的石墨基板，其特征在于，每个所述导气沟槽(100b)的深度均为2～10mm。

10.根据权利要求4至8任一项所述的石墨基板，其特征在于，每个所述导气沟槽(100b)的宽度均为2～10mm。