[发明专利]一种用于芯片测试的混合光生成系统

权利要求书

1.一种用于芯片测试的混合光生成系统，其特征在于：包括直流光模组(1)、调制光模组(2)和混光组件，所述直流光模组(1)用于提供采集待测芯片图像所需的直流光，所述调制光模组(2)用于提供采集待测芯片图像所需的调制光；

所述混光组件包括半透半反镜(15)，所述混光组件设置在所述直流光模组(1)的下方，并位于所述调制光模组(2)的上方；

所述直流光模组(1)包括从上至下依次排列的直流光发光组件、第一准直透镜(12)、复眼透镜组件和第二准直透镜(14)，所述直流光发光组件包括直流光源(11)和直流驱动电路，所述直流驱动电路用于驱动直流光源(11)工作以产生直流光路，所述直流光源(11)面向所述第一准直透镜(12)设置，以使所述直流光路依次经过所述第一准直透镜(12)、复眼透镜组件、第二准直透镜(14)和半透半反镜(15)；

所述调制光模组(2)包括调制光发光组件，所述调制光发光组件包括调制光源(21)和调制驱动电路，所述调制驱动电路用于驱动所述调制光源(21)以产生调制光路，所述调制光源(21)面向所述半透半反镜(15)设置，以使所述调制光路在所述半透半反镜(15)处发生反射；

所述直流光路和调制光路通过所述半透半反镜(15)传输至待测芯片上。

2.根据权利要求1所述的一种用于芯片测试的混合光生成系统，其特征在于：还包括探照台和检测台，所述直流光源(11)和所述混光组件设置在所述探照台上，所述调制光源(21)设置在所述检测台上，所述检测台对应有光感检测区，当所述待测芯片放置在所述检测台上时，所述光感检测区覆盖待测芯片的晶粒感光部件(4)，所述直流光路和调制光路在产生时分别经过所述光感检测区。

3.根据权利要求1所述的一种用于芯片测试的混合光生成系统，其特征在于：所述复眼透镜组件包括两个叠设的复眼透镜(13)，两个所述复眼透镜(13)的结构相同。

4.根据权利要求1所述的一种用于芯片测试的混合光生成系统，其特征在于：所述调制光源(21)和所述半透半反镜(15)之间具有第一距离，所述第一距离取值范围在20-40mm。

5.根据权利要求1所述的一种用于芯片测试的混合光生成系统，其特征在于：还包括止扩件，所述止扩件上设置有若干光孔(5)，每一所述光孔(5)对应设置一所述调制光源(21)，每一所述光孔(5)内对应待测芯片的晶粒感光部件(4)，以使每一所述调制光路或直流光路通过所述光孔(5)传输至待测芯片的晶粒感光部件(4)上。

6.根据权利要求5所述的一种用于芯片测试的混合光生成系统，其特征在于：所述调制光源(21)与所述光孔(5)之间具有第二距离，所述第二距离的取值范围为4-30mm。

7.根据权利要求5所述的一种用于芯片测试的混合光生成系统，其特征在于：所述止扩件配置为测试探针卡(3)，所述测试探针卡(3)用于采集并传输待测芯片的数据信息。

8.根据权利要求1所述的一种用于芯片测试的混合光生成系统，其特征在于：所述直流光源(11)与所述第一准直透镜(12)之间具有第三距离，所述第三距离的取值范围为50-70mm。

9.根据权利要求3所述的一种用于芯片测试的混合光生成系统，其特征在于：两个所述复眼透镜(13)之间具有第四距离，所述第四距离的取值范围为30-50mm。

10.根据权利要求1所述的一种用于芯片测试的混合光生成系统，其特征在于：所述调制驱动电路由调制光驱动控制板(22)配置，所述调制光驱动控制板(22)为第一驱动芯片和第二驱动芯片进行级联的组合电路，所述第一驱动芯片与第二驱动芯片的型号均为IC-HS05。