[发明专利]一种MEMS传感器校准装置

说明书

本发明公开了一种MEMS传感器校准装置，包括校准室，校准室的内部底端固定连接有校准台，校准台的底端中部固定连接有压力传感器，校准室的内部上方一侧设置有冷暖风机，校准室的内部顶端中部设置有测温计，测温计的两侧均设置有固定块，固定块的上端均固定连接于校准室的内部顶端，本发明所达到的有益效果包括：可以对比不同温度下的压力数据，计算出温度改变时压力数据的改变量，可以进行校正，校正精准，本发明设置有开关机构，当校准室内的温度过高时，高温会使得开关机构的气球膨胀挤压推杆，带动按块按动开关，使得与开关电性连接的冷暖风机关闭，可以及时避免内部温度继续升高，防止温度过高高温对压力传感器造成损坏。

技术领域：

本发明属于传感器校准技术领域，特别涉及一种MEMS传感器校准装置。

背景技术：

MEMS传感器包括压力传感器、温度传感器、加速度传感器等微电子装置，可以应用于各种加工设备以及自动化设备中，可以提高生产速度与机械运作的灵活性。

现有技术下，在MEMS传感器使用时，常常会因为环境温度导致压力传感器的数据产生偏差，导致安装压力传感器的设备产生运行上的延缓，在进行压力传感器的校准时一般是厂商生产时设定一定自动校准功能，但是校准效果不好。

发明内容：

本发明的目的就在于为了解决上述问题而提供一种MEMS传感器校准装置，解决了在MEMS传感器使用时，常常会因为环境温度导致压力传感器的数据产生偏差，导致安装压力传感器的设备产生运行上的延缓，在进行压力传感器的校准时一般是厂商生产时设定一定自动校准功能，但是校准效果不好等缺点。

为了解决上述问题，本发明提供了一种技术方案：

一种MEMS传感器校准装置，包括校准室，所述校准室的内部底端固定连接有校准台，所述校准台的底端中部固定连接有压力传感器，所述校准室的内部上方一侧设置有冷暖风机，所述校准室的内部顶端中部设置有测温计，所述测温计的两侧均设置有固定块，所述固定块的上端均固定连接于校准室的内部顶端，所述测温计固定连接于两个固定块之间，所述测温计远离冷暖风机的一侧设置有开关机构，所述开关机构包括气球，所述气球的一侧接触有推杆，所述推杆的外部设置有C型板，所述C型板固定连接于校准室的内部顶壁，所述推杆远离气球的一侧上端固定连接有移动杆，所述移动杆滑动贯穿于C型板上部，所述移动杆位于C型板外部的一端固定连接有按块，所述按块远离移动杆的一侧设置有开关，所述开关与冷暖风机电性连接，所述校准室靠近冷暖风机的一侧外壁安装有压力数据显示器。

优选的，所述冷暖风机的一侧设置有调节机构，所述调节机构包括固定杆，所述固定杆固定连接于校准室的内壁，所述固定杆的内部设置有丝杆，所述丝杆上螺纹连接有滑块，所述固定杆相对冷暖风机的一侧为开口结构，所述滑块滑动连接于固定杆的内部两侧之间，所述丝杆的上端转动连接于固定杆的上端内壁，所述丝杆的下端贯穿固定杆且固定连接有第一握把，所述滑块位于固定杆外部的一端通过铰接座转动连接有第一连接杆，所述第一连接杆远离滑块的一端与冷暖风机转动连接，所述冷暖风机的上端通过铰接座转动连接有第二连接杆，所述第二连接杆的上端转动连接于校准室的内部顶壁，所述冷暖风机的输出端与校准台上端相对。

优选的，所述气球远离推杆的一端连接有连接管，所述气球套接在连接管上，所述连接管远离气球的一端插接有气体瓶，所述气体瓶与连接管的插接处粘合有密封圈，所述连接管上连接有支撑套块，所述支撑套块固定连接于校准室的内壁顶端，所述连接管插接在支撑套块中部，所述推杆远离气球的一侧中部固定连接有弹簧，所述弹簧远离推杆的一端固定连接于C型板内侧，所述C型板上下两侧均开设有滑槽，所述推杆两端均滑动连接于滑槽中，所述开关远离按块的一端固定连接有顶杆，所述顶杆上端固定连接于校准室的内部顶壁。