[发明专利]一种等离子清洗设备用通道流量调节机构

说明书

本发明公开了一种等离子清洗设备用通道流量调节机构，包括发生器，发生器连通导管，发生器通过导管连通调压器，调压器通过导管连通流量计，流量计通过导管连通连接阀，连接阀分别接通泄压阀、分流连接器和检测口，调压器上设置有第一压力显示器，连接阀靠近分流连接器的一侧设置有第二压力显示器。本发明一种等离子清洗设备用通道流量调节机构通过设置第一压力显示器和第二压力显示器便于工作人员实时观察到压力数值，并结合实际需求进行调节改变；流量计可实时监控经过的流量，可计算数值总量；连接阀连通泄压阀和检测口，方便工作人员进行最终调节，且可实时进行检测。

技术领域

本发明涉及清洗设备技术领域，具体为一种等离子清洗设备用通道流量调节机构。

背景技术

等离子清洗机(plasma cleaner)也叫等离子清洁机，或者等离子表面处理仪，是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态，并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的。等离子体和固体、液体或气体一样，是物质的一种状态，也叫做物质的第四态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的″活性″组分包括：离子、电子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子体表面处理仪就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等目的等离子体是物质的一种存在状态，通常物质以固态、液态、气态三种状态存在，但在一些特殊的情况下有第四种状态存在，如地球大气中电离层中的物质。等离子体状态中存在下列物质：处于高速运动状态的电子；处于激活状态的中性原子、分子、原子团(自由基)；离子化的原子、分子；未反应的分子、原子等，但物质在总体上仍保持电中性状态。在真空腔体里，通过射频电源在一定的压力情况下起辉产生高能量的无序的等离子体，通过等离子体轰击被清洗产品表面.以达到清洗目的。等离子清洗机的结构主要分为三个大的部分组成，分别是控制单元、真空腔体以及真空泵

目前，传统等离子清洗设备流量调节不够稳定，存在一定缺陷，同时缺乏监测措施，具备一定的不稳定性，在使用时越来越难以满足生产作业需求。

基于此，本发明设计了一种等离子清洗设备用通道流量调节机构，以解决上述问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种等离子清洗设备用通道流量调节机构，以解决上述背景技术中提出的目前，传统等离子清洗设备流量调节不够稳定，存在一定缺陷，同时缺乏监测措施，具备一定的不稳定性，在使用时越来越难以满足生产作业需求的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种等离子清洗设备用通道流量调节机构，包括发生器，所述发生器连通导管，所述发生器通过所述导管连通调压器，所述调压器通过所述导管连通流量计，所述流量计通过所述导管连通连接阀，所述连接阀分别接通泄压阀、分流连接器和检测口，所述调压器上设置有第一压力显示器，所述连接阀靠近所述分流连接器的一侧设置有第二压力显示器。

作为本发明的进一步方案，所述发生器为等离子气体发生装置。

作为本发明的进一步方案，所述分流连接器设置有多个分流接口，且所述分流连接器与等离子清洗设备连接。

作为本发明的进一步方案，所述第一压力显示器检测的压力为所述调压器调节后的压力。

作为本发明的进一步方案，所述流量计为气体流量计。

作为本发明的进一步方案，所述第一压力显示器和所述第二压力显示器为数字显示器，且显示精度不低于0.5kPa。

作为本发明的进一步方案，所述连接阀为螺纹四通阀，所述连接阀与所述导管连接处设置有密封圈。