[发明专利]一种等离子清洗设备用通道流量调节机构

权利要求书

1.一种等离子清洗设备用通道流量调节机构，包括发生器(1)，其特征在于，所述发生器(1)连通导管(2)，所述发生器(2)通过所述导管(2)连通调压器(3)，所述调压器(3)通过所述导管(2)连通流量计(4)，所述流量计(4)通过所述导管(2)连通连接阀(5)，所述连接阀(5)分别接通泄压阀(6)、分流连接器(7)和检测口(8)，所述调压器(3)上设置有第一压力显示器(9)，所述连接阀(5)靠近所述分流连接器(7)的一侧设置有第二压力显示器(10)。

2.根据权利要求1所述的一种等离子清洗设备用通道流量调节机构，其特征在于，所述发生器(1)为等离子气体发生装置。

3.根据权利要求1所述的一种等离子清洗设备用通道流量调节机构，其特征在于，所述分流连接器(7)设置有多个分流接口，且所述分流连接器(7)与等离子清洗设备连接。

4.根据权利要求1所述的一种等离子清洗设备用通道流量调节机构，其特征在于，所述第一压力显示器(9)检测的压力为所述调压器(3)调节后的压力。

5.根据权利要求1所述的一种等离子清洗设备用通道流量调节机构，其特征在于，所述流量计(4)为气体流量计(4)。

6.根据权利要求1所述的一种等离子清洗设备用通道流量调节机构，其特征在于，所述第一压力显示器(9)和所述第二压力显示器(10)为数字显示器，且显示精度不低于0.5kPa。

7.根据权利要求1所述的一种等离子清洗设备用通道流量调节机构，其特征在于，所述连接阀(5)为螺纹四通阀，所述连接阀(5)与所述导管(2)连接处设置有密封圈。