[发明专利]检测件与芯片的检测方法有效

专利信息
申请号: 202111032956.6 申请日: 2021-09-03
公开(公告)号: CN113866590B 公开(公告)日: 2023-09-26
发明(设计)人: 李辉 申请(专利权)人: 长江存储科技有限责任公司
主分类号: G01R31/28 分类号: G01R31/28;G01R1/04
代理公司: 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 代理人: 杨思雨
地址: 430074 湖北省武汉*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 检测 芯片 方法
【权利要求书】:

1.一种检测件,用于检测芯片,所述检测件包括:

基板;

多个引脚,位于所述基板的表面;

多个外连接部,位于所述基板的表面边缘,与所述多个引脚分隔设置;以及

内部引线,位于所述基板中,连接对应的所述引脚和所述外连接部,

其中,所述基板的表面具有第一承载区和第二承载区,

每个所述引脚的第一端靠近所述第一承载区,每个所述引脚的第二端靠近所述第二承载区,所述第一承载区用于放置背面朝向所述基板连接的待测芯片,所述第二承载区用于放置正面朝向所述基板连接的待测芯片。

2.根据权利要求1所述的检测件,其中,所述第二承载区位于所述多个引脚与所述多个外连接部之间。

3.根据权利要求2所述的检测件,其中,所述内部引线的位置与所述第二承载区对应。

4.根据权利要求1所述的检测件,其中,所述第二承载区的尺寸不小于所述第一承载区的尺寸。

5.根据权利要求1至4任一项所述的检测件,其中,所述多个引脚平行排列。

6.一种芯片的检测方法,通过如权利要求1至5任一项所述的检测件对所述待测芯片进行检测。

7.根据权利要求6所述的检测方法,其中,所述待测芯片的正面具有多个焊盘,

所述检测方法包括:

将所述待测芯片的背面固定在所述第一承载区;以及

将各所述焊盘与对应的所述引脚相连。

8.根据权利要求6所述的检测方法,其中,所述待测芯片包括多个堆叠的管芯,除最下层的管芯之外,多个管芯中的至少一个作为目标管芯,

在至少两层相邻的管芯中,上层管芯的背面位于下层管芯的正面上,下层管芯的正面具有焊盘,且上层管芯通过所述焊盘与下层管芯电连接,

所述检测方法包括:

在所述目标管芯以及位于所述目标管芯背面的下层管芯中,去除下层管芯并保留下层管芯的焊盘;

将所述待测芯片固定在所述第二承载区上,其中,所述目标管芯的正面朝向所述基板;以及

将各所述焊盘与对应的所述引脚相连。

9.根据权利要求8所述的检测方法,其中,在去除下层管芯之前,所述待测芯片被塑封材料包裹,

所述去除下层管芯并保留下层管芯的焊盘包括:自所述待测芯片的最下层的管芯开始研磨,直至暴露位于所述目标管芯背面的下层管芯上的焊盘。

10.根据权利要求8或9所述的检测方法,其中,各所述焊盘与对应的所述引脚通过打线相连。

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