[发明专利]检测件与芯片的检测方法有效
申请号: | 202111032956.6 | 申请日: | 2021-09-03 |
公开(公告)号: | CN113866590B | 公开(公告)日: | 2023-09-26 |
发明(设计)人: | 李辉 | 申请(专利权)人: | 长江存储科技有限责任公司 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28;G01R1/04 |
代理公司: | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人: | 杨思雨 |
地址: | 430074 湖北省武汉*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 检测 芯片 方法 | ||
1.一种检测件,用于检测芯片,所述检测件包括:
基板;
多个引脚,位于所述基板的表面;
多个外连接部,位于所述基板的表面边缘,与所述多个引脚分隔设置;以及
内部引线,位于所述基板中,连接对应的所述引脚和所述外连接部,
其中,所述基板的表面具有第一承载区和第二承载区,
每个所述引脚的第一端靠近所述第一承载区,每个所述引脚的第二端靠近所述第二承载区,所述第一承载区用于放置背面朝向所述基板连接的待测芯片,所述第二承载区用于放置正面朝向所述基板连接的待测芯片。
2.根据权利要求1所述的检测件,其中,所述第二承载区位于所述多个引脚与所述多个外连接部之间。
3.根据权利要求2所述的检测件,其中,所述内部引线的位置与所述第二承载区对应。
4.根据权利要求1所述的检测件,其中,所述第二承载区的尺寸不小于所述第一承载区的尺寸。
5.根据权利要求1至4任一项所述的检测件,其中,所述多个引脚平行排列。
6.一种芯片的检测方法,通过如权利要求1至5任一项所述的检测件对所述待测芯片进行检测。
7.根据权利要求6所述的检测方法,其中,所述待测芯片的正面具有多个焊盘,
所述检测方法包括:
将所述待测芯片的背面固定在所述第一承载区;以及
将各所述焊盘与对应的所述引脚相连。
8.根据权利要求6所述的检测方法,其中,所述待测芯片包括多个堆叠的管芯,除最下层的管芯之外,多个管芯中的至少一个作为目标管芯,
在至少两层相邻的管芯中,上层管芯的背面位于下层管芯的正面上,下层管芯的正面具有焊盘,且上层管芯通过所述焊盘与下层管芯电连接,
所述检测方法包括:
在所述目标管芯以及位于所述目标管芯背面的下层管芯中,去除下层管芯并保留下层管芯的焊盘;
将所述待测芯片固定在所述第二承载区上,其中,所述目标管芯的正面朝向所述基板;以及
将各所述焊盘与对应的所述引脚相连。
9.根据权利要求8所述的检测方法,其中,在去除下层管芯之前,所述待测芯片被塑封材料包裹,
所述去除下层管芯并保留下层管芯的焊盘包括:自所述待测芯片的最下层的管芯开始研磨,直至暴露位于所述目标管芯背面的下层管芯上的焊盘。
10.根据权利要求8或9所述的检测方法,其中,各所述焊盘与对应的所述引脚通过打线相连。
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