[发明专利]激光加工装置

权利要求书

1.一种激光加工装置，其至少具有：

保持单元，其对被加工物进行保持；

激光光线照射单元，其对该保持单元所保持的被加工物照射激光光线；以及

进给单元，其将该保持单元和该激光光线照射单元相对地进行加工进给，

其中，

该激光光线照射单元具有：

振荡器，其振荡出激光光线；以及

聚光器，其使该振荡器所振荡的激光光线会聚，

该聚光器包含：

聚光透镜；

玻璃盖片，其保护该聚光透镜免受对被加工物进行激光加工时飞散的碎屑的影响；以及

空气喷射喷嘴，其朝向该玻璃盖片喷射空气而将碎屑去除，

该空气喷射喷嘴具有主喷嘴和副喷嘴，该主喷嘴朝向该玻璃盖片喷射空气，该副喷嘴朝向从该主喷嘴喷射的空气喷射空气从而调整从该主喷嘴喷射的空气的喷射方向。

2.根据权利要求1所述的激光加工装置，其中，

该聚光器具有：

筒体，其围绕该玻璃盖片，并向被加工物侧突出；以及

下降流生成部，其在激光加工时向该筒体的内部提供空气而生成下降流，该下降流防止碎屑进入该筒体的内部。

3.根据权利要求1或2所述的激光加工装置，其中，

在对该副喷嘴提供空气的空气流路中配设有缓冲罐，从而使从该主喷嘴喷射的空气的方向平缓地变化。