[发明专利]一种具有复合结构的3D打印Ti-Nb合金及其制备方法有效

专利信息
申请号: 202111022528.5 申请日: 2021-09-01
公开(公告)号: CN113846245B 公开(公告)日: 2022-10-11
发明(设计)人: 张平则;党博;田恬;魏东博;李逢昆;李淑琴;姚正军 申请(专利权)人: 南京航空航天大学
主分类号: C23C14/06 分类号: C23C14/06;C22C14/00;C23C28/00;C23C14/16;C23C14/22;C23C14/35;C23C14/58;C23C26/02;B33Y70/10;B24B1/00
代理公司: 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 代理人: 柏尚春
地址: 210016 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 具有 复合 结构 打印 ti nb 合金 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种具有复合结构的3D打印Ti-Nb合金,其特征在于,所述Ti-Nb合金表面具有Zr-Ta-Zn合金层;所述Zr-Ta-Zn合金层表面通过等离子刻蚀方法形成峰谷微结构后,在Zr-Ta-Zn合金层表面制备HA涂层;所述Zr-Ta-Zn合金层中的沉积层厚度在5~8μm,所述Zr-Ta-Zn合金层中的扩散层厚度在5~10μm;所述HA涂层厚度为5~8μm;所述Ti-Nb合金通过电子束熔丝方法制备:对腔室和电子枪室进行抽真空;加速电压50~70kV,电子束电流20~40mA,运动速度500~800mm/min,熔积间距5mm;采用Ti-Nb合金丝作为送丝材料;所述Ti-Nb合金表面的Zr-Ta-Zn合金层通过双辉等离子表面合金化方法制备:采用Ti-Nb合金为工件极,Zr-Ta-Zn合金靶材作为源极,调节源极电压为850~950V,工件电压为450~550V,工作时间2~4h;停止辉光,完成Zr-Ta-Zn合金层的制备;采用的Zr-Ta-Zn合金靶材配比:Ta为20~30wt%,Zn为5~15wt%,Zr为余量;所述等离子刻蚀方法的工艺参数如下:功率1800~2000W,氢气流量50~55mL/min,氩气流量10~20mL/min,压力6~8KPa,时间1h~1.5h。

2.根据权利要求1所述的具有复合结构的3D打印Ti-Nb合金,其特征在于,所述HA涂层通过磁控溅射方法制备:溅射功率300~350W,工作气体氩气,基体与靶材间距为40~60mm,工作气压0.5~0.8Pa,制备时间1~1.5h。

3.根据权利要求1所述的具有复合结构的3D打印Ti-Nb合金,其特征在于,所述双辉等离子表面合金化方法包括以下步骤:

(S11)将Ti-Nb合金试样和Zr-Ta-Zn合金靶材放入双辉炉内,并抽真空;

(S12)通入氩气,并调节工作气压为38~40Pa,启动辉光,调节源极电压为850~950V,工件电压为450~550V,工作时间2~4h;

(S13)停止辉光,关闭氩气,关闭电源,完成Zr-Ta-Zn合金层制备。

4.根据权利要求1所述的具有复合结构的3D打印Ti-Nb合金,其特征在于,所述Ti-Nb合金丝送丝速度为800~1500mm/min。

5.根据权利要求1所述的具有复合结构的3D打印Ti-Nb合金,其特征在于,所述Ti-Nb合金丝为Ti-48Nb或Ti-45Nb。

6.一种如权利要求1所述的具有复合结构的3D打印Ti-Nb合金的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

(a)采用电子束熔丝方法制造Ti-Nb合金;

(b) 采用双辉等离子表面合金化方法在Ti-Nb合金表面进行Zr-Ta-Zn合金层制备;

(c)采用等离子刻蚀方法在Zr-Ta-Zn合金层表面形成峰谷微结构;

(d)采用射频磁控溅射方法在具有微结构的Zr-Ta-Zn合金层上进行HA涂层的制备。

7.根据权利要求6所述的具有复合结构的3D打印Ti-Nb合金的制备方法,其特征在于,步骤(b)中,采用双辉等离子表面合金化方法的工艺参数为:采用Ti-Nb合金为工件极,Zr-Ta-Zn合金靶材作为源极,调节源极电压为850~950V,工件电压为450~550V,工作时间2~4h;停止辉光,完成Zr-Ta-Zn合金层的制备;步骤(c)中,等离子刻蚀方法的工艺参数为:功率1800~2000W,氢气流量50~55mL/min,氩气流量10~20mL/min,压力6~8KPa,时间1h~1.5h;步骤(d)中,射频磁控溅射方法的工艺参数为:溅射功率300~350W,工作气体氩气,基体与靶材间距为40~60mm,工作气压0.5~0.8Pa,制备时间1~1.5h。

8.根据权利要求6所述的具有复合结构的3D打印Ti-Nb合金的制备方法,其特征在于,步骤(a)中,电子束熔丝方法的工艺参数为:对腔室和电子枪室进行抽真空;加速电压50~70kV,电子束电流20~40mA,运动速度500~800mm/min,熔积间距5mm;采用Ti-Nb合金丝作为送丝材料。

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