[发明专利]一种具有防呆功能的PERC电池片生产刻蚀机

说明书

本发明公开了一种具有防呆功能的PERC电池片生产刻蚀机，包括设备主体，设备主体的内部分隔为上腔室与下腔室，上腔室的内部固定连接有密封板密封板的内部设置有隔断组件，密封板将上腔室分隔为预真空室与刻蚀室，预真空室的内侧壁固定连接有电控推杆，电控推杆的一端与放置板固定连接，放置板的内部设置有定位组件与固定组件，设备主体的顶部固定连接有真空泵，下腔室的内部固定连接有处理器，处理器的一侧设置有储气罐，储气罐的顶部固定连接有气泵，气泵的一端固定连接有输气管，输气管的另一端固定连接有分子泵；该一种具有防呆功能的PERC电池片生产刻蚀机通过设置的防呆组件，能够很好地防止操作人员出现走神，从而忘记操作装置的情况。

技术领域

本发明涉及电池加工技术领域，具体为一种具有防呆功能的PERC电池片生产刻蚀机。

背景技术

等离子刻蚀机，又叫等离子蚀刻机、等离子平面刻蚀机、等离子体刻蚀机、等离子表面处理仪、等离子清洗系统等。等离子刻蚀，是干法刻蚀中最常见的一种形式，其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体，由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体，从而形成了等离子或离子，电离气体原子通过电场加速时，会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。进行干式蚀刻工艺的设备包括反应室、电源、真空部分。工件送入被真空泵抽空的反应室。气体被导入并与等离子体进行交换。等离子体在工件表面发生反应，反应的挥发性副产物被真空泵抽走。等离子体刻蚀工艺实际上便是一种反应性等离子工艺。

现有的PERC电池片生产刻蚀机，一般都是直接在刻蚀室内部进行刻蚀，并没有进行真空处理，使得电池片在刻蚀的过程中，容易受外界环境(如：粉尘、水汽)的影响；现有的PERC电池片生产刻蚀机，在将电池片放置在放置板上时，无法很好地对其定位以及固定；现有的PERC电池片生产刻蚀机，没有防发呆装置，操作工容易在操作时走神或者发呆，从而容易发生事故。

发明内容

本发明的目的在于针对现有技术的不足之处，提供一种具有防呆功能的PERC电池片生产刻蚀机，用来解决电池片在刻蚀的过程中，容易受外界环境(如：粉尘、水汽)的影响、操作工容易在操作时走神或者发呆、无法很好地对电池片定位以及固定的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：包括设备主体，所述设备主体的内部分隔为上腔室与下腔室，所述上腔室的内部固定连接有密封板所述密封板的内部设置有隔断组件，所述密封板将上腔室分隔为预真空室与刻蚀室，所述预真空室的内侧壁固定连接有电控推杆，所述电控推杆的一端与放置板固定连接，所述放置板的内部设置有定位组件与固定组件，所述设备主体的顶部固定连接有真空泵，所述下腔室的内部固定连接有处理器，所述处理器的一侧设置有储气罐，所述储气罐的顶部固定连接有气泵，所述气泵的一端固定连接有输气管，所述输气管的另一端固定连接有分子泵，所述设备主体的外表面固定连接有控制面板，所述预真空室的侧壁铰接有密封门，所述密封门的外表面固定连接有真空检测仪，所述设备主体的外表面设置有防呆组件。

作为本发明的优选技术方案，所述隔断组件包括输送孔、滑槽、存放腔、电动推杆与隔离门，所述密封板的内部贯穿设置有输送孔，所述输送孔的侧壁开设有滑槽，所述输送孔的顶部开设有存放腔，所述存放腔的内部顶板中心处固定连接有电动推杆，所述电动推杆的底部固定连接有隔离门。

作为本发明的优选技术方案，所述输送孔的为矩形孔，所述滑槽分别开设在输送孔的左右侧壁以及底边的中心处，且相互连通，所述隔离门与滑槽活动连接，所述电动推杆的输出端与隔离门的顶部中心处固定连接，所述电动推杆与控制面板电性连接。

作为本发明的优选技术方案，所述定位组件包括活动腔、复位弹簧、电磁铁、活动板、通孔与定位板，所述放置板的内部开设有活动腔，所述活动腔的底部固定连接有复位弹簧，所述复位弹簧的一侧设置有电磁铁，所述电磁铁的顶部设置有活动板，所述放置板的顶部开设有通孔，所述活动板的顶部固定连接有定位板。