[发明专利]一种解理装置及解理方法

权利要求书

1.一种解理装置，其特征在于，包括：

承载机构，包括限位件、载台和压力检测器，所述载台具有工作面，所述工作面用于承载待按压的衬底，所述限位件具有安装腔，所述载台和所述压力检测器位于所述安装腔中，所述安装腔的腔壁限制所述载台在垂直于所述工作面的方向运动，所述限位件对应于所述工作面设置有连通于所述安装腔的开口；

按压机构，包括按压台、连接件和驱动件，所述按压台连接于所述连接件且在垂直于所述工作面的方向对齐于所述载台，所述驱动件用于驱动所述连接件沿垂直于所述工作面的方向移动所述按压台，所述按压台用于获取附有二维材料的胶带并将所述胶带按压至所述衬底上，所述载台位于所述压力检测器和所述按压台之间，所述压力检测器用于检测所述按压台对所述载台的压力。

2.根据权利要求1所述的解理装置，其特征在于，所述安装腔具有圆柱形的腔壁，且所述腔壁的轴线垂直于所述工作面；所述载台具有圆柱形的外壁，所述载台与所述安装腔同轴设置，所述外壁贴合于所述腔壁且能够沿所述腔壁滑动。

3.根据权利要求1所述的解理装置，其特征在于，所述载台具有加热模块，用于加热所述工作面上的所述衬底。

4.根据权利要求3所述的解理装置，其特征在于，所述加热模块包括加热器和温控仪，所述加热器设置于所述载台的内部，所述加热器能够通电加热，用于加热所述载台以对所述工作面上的所述衬底加热，所述温控仪电连接于所述加热器，用于调节所述加热器的温度。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的解理装置，其特征在于，还包括密闭装置，内部具有空腔，所述承载机构设置于所述空腔中，所述密闭装置在对应于所述限位件的开口的位置开设有密封口，所述密封口内设置有密封件；所述连接件穿设于所述密封口中，并通过所述密封件与所述密封口密封连接并能够相对所述密封口沿垂直于所述工作面的方向移动，所述按压台位于所述空腔中，所述驱动件位于所述空腔外。

6.根据权利要求5所述的解理装置，其特征在于，还包括抽真空装置，所述密闭装置还设置有连通于所述空腔的真空接口，所述抽真空装置通过真空管道连接于真空接口，并与所述空腔连通，抽真空装置用于对所述空腔抽真空。

7.根据权利要求5所述的解理装置，其特征在于，所述密闭装置还设置有连通于所述空腔的气体接口，所述气体接口连接有气体管道，所述气体管道上设置有阀门，所述阀门用于切换所述气体管道的通断。

8.一种解理方法，其特征在于，包括如下步骤：

准备如权利要求1至7中任一项所述的解理装置；

将待按压的衬底固定于所述载台的工作面，利用胶带对二维材料块材进行机械解理，然后将胶带固定于所述按压台，且具有二维材料的一面朝向所述载台；

控制驱动件驱使连接件带动所述按压台朝向所述载台移动，将胶带按压至衬底上，并对衬底施加设定值的按压力，通过所述压力检测器检测所述按压力，按压设定时间后撤除所述按压台的按压力，驱使所述按压台移动远离所述载台，使胶带和衬底分离，完成解理。

9.根据权利要求8所述的解理方法，其特征在于，将所述胶带按压至所述衬底上的过程在具有设定真空度的环境下进行。

10.根据权利要求8所述的解理方法，其特征在于，按压过程在密闭装置中进行，撤除所述按压台的按压力后，先对所述密闭装置中反复充放高压气体，再驱使所述按压台移动远离所述载台。