[发明专利]叠层型压电陶瓷电极结构及其制造工艺

权利要求书

1.叠层型压电陶瓷电极结构，其特征在于：包括内部压电结构(1)、包裹内部压电结构(1)的外部保护结构(2)；

所述内部压电结构(1)包括压电陶瓷材料薄膜(11)、正极银钯层(12)以及负极银钯层(13)，所述正极银钯层(12)和负极银钯层(13)呈交替分布，所述正极银钯层(12)和负极银钯层(13)的中间介质为压电陶瓷材料薄膜(11)；

所述正极银钯层(12)和负极银钯层(13)的一端向外凸出分别形成正引出电极(121)和负引出电极(131)，所述内部压电结构(1)中正极银钯层(12)和负极银钯层(13)的分布方向相反，按正引出电极(121)和负引出电极(131)相对一百八十度分布，所述正引出电极(121)之间并联形成正电极接口面，所述负引出电极(131)之间并联形成负电极接口面，所述正电极接口面和负电极接口面同样相对一百八十度；

所述外部保护结构(2)包括上绝缘层(21)、下绝缘层(22)以及中间绝缘层(23)，所述中间绝缘层(23)包裹住正极银钯层(12)或负极银钯层(13)的外圆周，并暴露出正电极接口面或负电极接口面，所述上绝缘层(21)、下绝缘层(22)分别与内部压电结构(1)的两端面连接。

2.根据权利要求1所述的叠层型压电陶瓷电极结构，其特征在于：所述正极银钯层(12)和负极银钯层(13)的层数均大于等于九十层。

3.根据权利要求2所述的叠层型压电陶瓷电极结构，其特征在于：所述正引出电极(121)凸出正极银钯层(12)端边的二分之一，所述负引出电极(131)凸出负极银钯层(13)端边的二分之一，所述正引出电极(121)和负引出电极(131)的长度、宽度和厚度相等。

4.根据权利要求3所述的叠层型压电陶瓷电极结构，其特征在于：所述压电陶瓷材料薄膜(11)的材料为锆钛酸铅。

5.根据权利要求1-4任意一项所述的叠层型压电陶瓷电极结构的制造工艺，其特征在于，所述制造工艺包括下述步骤：

S1:选用合适厚度的压电陶瓷材料薄膜；

S2:采用丝网印刷将正极银钯层印刷至压电陶瓷材料薄膜上表面；

S3:采用热压粘接的方式，粘接第二层压电陶瓷材料薄膜，正极银钯层位于两层压电陶瓷材料薄膜之间；

S4:在第二层压电陶瓷材料薄膜的另一侧，丝网印刷负极银钯层，并热压粘接第三层压电陶瓷材料薄膜；

S5:根据需要的压电陶瓷材料薄膜层数，重复步骤二到步骤四，直至层数满足需求；

S6:满足层数后，进行温等静压；

S7:温等静压完成后，对压电陶瓷材料薄膜、正极银钯层以及负极银钯层的结合体，进行切割，切割完成后的形状为方形；

S8:切割完成后，结合体放入高温炉按一定梯度进行烧结；

S9:烧结完成后，将正引出电极和负引出电极的端面用丝网印刷银层,经高温烧结后,使正引出电极并联形成正电极接口面，负引出电极并联形成负电极接口面；

S10:中间绝缘层高温烧接后，结合成一体，上绝缘层粘接在结合体的上端面、下绝缘层粘接在结合体的下端面。