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[发明专利]一种面向微型器件应用的体材压电陶瓷图形化加工方法-CN201811023419.3有效
发明人：王莉;牛中会;黄菲;卢秉恒 -专利权人：西安增材制造国家研究院有限公司
申请日： 2018-09-03 - 公布日： 2022-05-10 - 主分类号： H01L41/293 文献下载
摘要：本发明提出了一种面向微型器件应用的体材压电陶瓷图形化加工方法，包括1)在压电陶瓷的表层上电极印制待加工器件的加工路径；2)采用划片机，按照步骤1)所印制的图形，对压电陶瓷整体进行切割，形成待加工器件中的多个形变单元；3)采用飞秒激光，按照步骤1)所印制的图形，对压电陶瓷的表层上电极进行分离，形成与多个形变单元对应连接的多个引出电极。本发明的面向微型器件应用的体材压电陶瓷图形化加工方法，结合压电陶瓷微型器件本身的结构，综合利用机械加工技术和激光烧蚀技术的优点，避免机械加工技术和激光烧蚀技术各自的劣势，解决了压电陶瓷微型器件的高精密加工的难题。
一种面向微型器件应用压电陶瓷图形加工方法

[发明专利]用于制造被构造为堆的多层致动器的方法-CN201680052391.9有效
发明人： W.许尔茨 -专利权人：大陆汽车有限公司
申请日： 2016-07-06 - 公布日： 2021-02-19 - 主分类号： H01L41/293 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于制造被构造为堆（1）的多层致动器的方法，所述多层致动器由多个对电场的施加做出反应的材料层（2）和多个电极层（3、4）形成。每个材料层（2）都布置在这些电极层（3、4）中的两个电极层之间。将相应的绝缘层（IS1、IS2）涂覆到两个在几何形状上没有连在一起的周向区域（1a、1b）中的相应的周向区域（1a、1b）上；产生经过绝缘层（IS1、IS2）中的第一和第二绝缘层（IS1、IS2）朝向所述电极层（3、4）中的每隔一个电极层（3）的第一和第二接触孔（KL1、KL2）；以及在被烧结的多层棒材（10）上，用导电材料（EL1、EL2）基本上整面地覆盖相应的绝缘层（IS1、IS2），其中接触孔（KL1、KL2）填充导电材料（EL），所述多层棒材由多个材料层（2）和多个电极层（3、4）沿多层棒材（10）的堆叠方向（hS）的交替的布置组成。紧接着，将多层棒材（10）平行于其深度方向（tS）和堆叠方向（hS）地分割成多个多层致动器。
用于制造构造多层致动器方法

[发明专利]一种压电双晶片制备方法-CN201310604896.X有效
发明人：王素贞 -专利权人：重庆中镭科技有限公司
申请日： 2013-11-26 - 公布日： 2018-03-13 - 主分类号： H01L41/293 文献下载
摘要：本发明的一种压电双晶片制备方法，纤维板预浸料在高温定向压力作用下使纤维板预浸料自身含有的未固化环氧树脂的熔化、扩散、固化实现中间支撑片与压电体之间的粘接，实现压电体与中间支撑片的同时固化成型。获得的压电双晶片具有工作可靠、寿命长的特点。
一种压电双晶制备方法

[发明专利]一种多层金属电极材料及其制备方法-CN201610945146.2在审
发明人：曾飞;李起;潘峰;傅肃磊;王光月 -专利权人：清华大学
申请日： 2016-11-02 - 公布日： 2017-02-08 - 主分类号： H01L41/293 文献下载
摘要：本发明公开了一种多层金属电极材料及其制备方法。本发明提供的多层金属电极材料包括设有电极图形的衬底以及依次沉积于所述衬底上的Ni层、Cu层、Ti层和Al层。本发明提供的制备方法包括如下步骤采用蒸镀的方法，在衬底上依次沉积Ni层、Cu层、Ti层和Al层即得，所述蒸镀为电子束蒸镀或热蒸镀。本发明多层电极材料中，Ni有利于提高Cu的织构，不至于强烈增大电极电阻，同时提高对基底的粘附力；Ti可以作为扩散阻挡层提高铝膜织构，减小电极电阻；这种复合多层膜中，下面两层具有好的强韧性和较好的导电性，上面两层具有好的导电性和一定的强韧性，因此能用于制备声表面波器件或体声波器件。
一种多层金属电极材料及其制备方法

[发明专利]层叠型压电元件以及具备其的喷射装置和燃料喷射系统-CN201380011070.0有效
发明人：山元坚 -专利权人：京瓷株式会社
申请日： 2013-07-30 - 公布日： 2014-11-19 - 主分类号： H01L41/293 文献下载
摘要：提供一种外部电极板剥落受到抑制的层叠型压电元件以及具备其的喷射装置和燃料喷射系统。本发明的层叠型压电元件的特征在于，包含：层叠体(6)，其包含由压电体层(2)与内部电极层(3)层叠而成的活性部(4)以及配置于活性部(4)的层叠方向端部的非活性部(5)；导电性接合材料(7)，其在层叠体(6)的侧面从活性部(4)一直设置到非活性部(5)；以及外部电极板(8)，其隔着导电性接合材料(7)安装在层叠体(6)的侧面，其中，至少一端的非活性部(5)的侧面与外部电极板(8)的间隔比活性部(4)的侧面与外部电极板(8)的间隔宽，并且至少一端的非活性部(5)的侧面与外部电极板(8)之间的导电性接合材料(7)的厚度比活性部(4)的侧面与外部电极板(8)之间的导电性接合材料(7)的厚度厚。
层叠压电元件以及具备喷射装置燃料系统

[发明专利]高温压电元件电极制作方法及压电元件结构-CN201310240971.9有效
发明人：聂泳忠;陈学军;林海 -专利权人：厦门乃尔电子有限公司
申请日： 2013-06-18 - 公布日： 2013-09-04 - 主分类号： H01L41/293 文献下载
摘要：本发明公开了一种高温压电元件电极的制作方法，在成型的压电材料表面镀涂传统导电浆料，然后对该压电材料进行极化，之后再去除其表面镀涂的导电浆料涂层，并与外界电极引线连接，将其压电效应产生的信号输出。本发明公开的高温压电元件结构，包括极化的压电材料，所述极化的压电材料去除了表面的金属导电浆料涂层；所述极化的压电材料表面连接有电极引线，将其压电效应产生的信号输出。上述制作方法及结构，去除了传统的电极浆料涂层，避免在高温下由于电极材料的高温扩散导致压电元件输出电阻减小，改善了压电元件的热性能；增加金刚石或石墨涂层作为电极，提高了压电元件输出电荷的灵敏度。
高温压电元件电极制作方法结构

[发明专利]用于制造铁电器件的方法-CN201180016715.0有效
发明人：松岛朝明;山内规裕;小川纯矢;相泽浩一 -专利权人：松下电器产业株式会社
申请日： 2011-03-30 - 公布日： 2013-01-02 - 主分类号： H01L41/293 文献下载
摘要：在第二衬底的一个表面侧上形成具有预定图案的籽晶层，并且在所述第二衬底的所述一个表面侧上形成铁电层。在所述铁电层上形成下部电极，并且经由接合层来接合所述下部电极和第一衬底。从所述第二衬底的另一表面侧照射具有预定波长的激光射束以将所述铁电层的与籽晶层重叠的铁电膜以及所述籽晶层转印至所述第一衬底的所述一个表面侧上。所述激光射束是具有一波长的射束，在这里，所述射束穿透所述第二衬底、被所述籽晶层反射、并且还被所述铁电层的第二部分吸收。所述第二部分不与所述籽晶层重叠。
用于制造器件方法