[发明专利]氦质谱检漏仪校准系统及校准方法

说明书

本发明公开了氦质谱检漏仪校准系统，属于氦质谱检漏仪技术领域，包括采集模块、处理模块和校准模块，采集模块包含第一采集单元、第二采集单元和第三采集单元，第一采集单元用于采集氦质谱检漏仪的电气信息；第二采集单元用于采集氦质谱检漏仪的抽气信息；第三采集单元用于采集氦质谱检漏仪的质谱信息；处理模块用于对采集的各项数据进行特征提取和处理，得到特征处理集；校准模块用于根据特征处理集对氦质谱检漏仪进行分析和校准，得到校准结果；本发明还公开了氦质谱检漏仪校准系统的校准方法；本发明用于解决现有方案中氦质谱检漏仪校准的效果不佳的技术问题。

技术领域

本发明涉及氦质谱检漏仪技术领域，具体涉及氦质谱检漏仪校准系统及校准方法。

背景技术

氦质谱检漏仪是用氦气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气实现检漏的质谱仪；氦气容易通过漏孔并快速扩散；使用时，将该气体喷到接有气体分析仪的被检容器上，若被检容器上有漏孔，通过检测可以获取到漏孔的位置以及漏气量的大小。

现有的氦质谱检漏仪在使用时，只通过单一的检测方式对氦质谱检漏仪进行检测和校准，例如只对运行时的功率或者电压以及电流进行检测分析，导致氦质谱检漏仪的检测结果不精准，从而使得氦质谱检漏仪校准的效果不佳。

发明内容

本发明的目的在于提供氦质谱检漏仪校准系统及校准方法，解决以下技术问题：如何解决现有方案中氦质谱检漏仪校准的效果不佳的问题。

本发明的目的可以通过以下技术方案实现：

氦质谱检漏仪校准系统，包括采集模块、处理模块和校准模块，采集模块包含第一采集单元、第二采集单元和第三采集单元，第一采集单元用于采集氦质谱检漏仪的电气信息；第二采集单元用于采集氦质谱检漏仪的抽气信息；第三采集单元用于采集氦质谱检漏仪的质谱信息；处理模块用于对采集的各项数据进行特征提取和处理，得到特征处理集；校准模块用于根据特征处理集对氦质谱检漏仪进行分析和校准，得到校准结果。

进一步地，还包括存储模块和提示模块，存储模块用于对校准结果以及预设的各项数据进行存储；提示模块根据校准结果对氦质谱检漏仪的校准进行提示。

进一步地，电气信息包含设备型号、额定功率、运行功率、额定电压和运行电压；抽气信息包含泵型号、泵标准功率、泵运行功率、抽气速率和气体体积；质谱信息包含导线类型、导线电流和额定热量。

进一步地，对采集的各项数据进行特征提取和处理的具体步骤包括：分别对电气信息、抽气信息和质谱信息中的数字和文本进行分类，得到电气分类信息、抽气分类信息和质谱分类信息；其中，电气分类信息包含电气数字标签集和电气文本标签集；抽气分类信息包含抽气数字标签集和抽气文本标签集；质谱分类信息包含质谱数字标签集和质谱文本标签集；

分别对电气数字标签集、抽气数字标签集和质谱数字标签集中的各项数字进行标记，将电气数字标签集中的额定功率、运行功率、额定电压和运行电压分别标记为B1、B2、B3和B4；得到电气数字标记集；将抽气数字标签集中的泵标准功率、泵运行功率、抽气速率和气体体积分别标记为C1、C2、C3和C4；得到抽气数字标记集；将质谱数字标签集中的导线电流和额定热量分别标记为D1和D2；得到质谱数字标记集；

分别对电气文本标签集、抽气文本标签集和质谱文本标签集中的各项文本进行数字化处理，将电气文本标签集中的设备型号标记为SX；将设备型号与预设的设备型号关联表进行匹配获取对应的设型关联值并标记为G1；得到电气文本标记集；将抽气文本标签集中的泵型号标记为BX；将泵型号与预设的泵型号关联表进行匹配获取对应的泵型关联值并标记为G2；得到抽气文本标记集；将质谱文本标签集中的导线类型标记为DL；将导线类型与预设的导线类型关联表进行匹配获取对应的线型关联值并标记为G3；得到质谱文本标记集；电气数字标记集和电气文本标记集构成电气标记合集；抽气数字标记集和抽气文本标记集构成抽气标记合集；质谱数字标记集和质谱文本标记集构成质谱标记合集；电气标记合集、抽气标记合集和质谱标记合集分类组合，得到特征处理集。