[发明专利]氦质谱检漏仪校准系统及校准方法

权利要求书

1.氦质谱检漏仪校准系统，其特征在于，包括：采集模块包含第一采集单元、第二采集单元和第三采集单元，第一采集单元采集氦质谱检漏仪的电气信息；第二采集单元采集氦质谱检漏仪的抽气信息；第三采集单元采集氦质谱检漏仪的质谱信息；处理模块对采集的各项数据进行特征提取和处理，得到特征处理集；校准模块包含第一校准单元、第二校准单元和第三校准单元；校准模块中的各个校准单元根据特征处理集对氦质谱检漏仪进行分析和校准，得到包含电匹系数和第一校准指令、抽匹系数和第二校准指令、质匹系数和第三校准指令的校准结果；

还包括存储模块和提示模块，存储模块用于对校准结果以及预设的各项数据进行存储；提示模块根据校准结果对氦质谱检漏仪的校准进行提示；

电气信息包含设备型号、额定功率、运行功率、额定电压和运行电压；抽气信息包含泵型号、泵标准功率、泵运行功率、抽气速率和气体体积；质谱信息包含导线类型、导线电流和额定热量；

分别对电气信息、抽气信息和质谱信息中的数字和文本进行分类，得到电气分类信息、抽气分类信息和质谱分类信息；分别对电气分类信息、抽气分类信息和质谱分类信息中的各项数字进行标记以及各项文本进行数字化处理，得到包含电气标记合集、抽气标记合集和质谱标记合集的特征处理集；

第一校准单元用于对特征处理集中的电气标记合集进行计算和分析，得到第一校准集；第二校准单元用于对特征处理集中的抽气标记合集进行计算和分析，得到第二校准集；第三校准单元用于对特征处理集中的质谱标记合集进行计算和分析，得到第三校准集；

对特征处理集中的电气标记合集进行计算和分析的具体步骤包括：利用公式计算获取电气的电匹系数，其中，μ表示为电气补偿因子，a1和a2表示为不同的比例系数，G1表示为设备型号对应的设型关联值，B1表示为额定功率，B2表示为运行功率，B3表示为额定电压，B4表示为运行电压，将电匹系数与预设的电匹阈值进行匹配，若电匹系数大于电匹阈值，则生成第一校准指令。

2.根据权利要求1所述的氦质谱检漏仪校准系统，其特征在于，对特征处理集中的抽气标记合集进行计算和分析的具体步骤包括：利用公式计算获取抽气的抽匹系数，其中，η表示为抽气补偿因子，b1和b2表示为不同的比例系数，QS表示为泵类型对应的标准抽气速率，QT表示为泵类型对应的标准抽气体积，G2表示为泵型号对应的泵型关联值，C1表示为泵标准功率，C2表示为泵运行功率，C3表示为抽气速率，C4表示为气体体积；将抽匹系数与预设的抽匹阈值进行匹配，若抽匹系数大于抽匹阈值，则生成第二校准指令。

3.根据权利要求2所述的氦质谱检漏仪校准系统，其特征在于，对特征处理集中的质谱标记合集进行计算和分析的具体步骤包括：利用公式ZP＝β×G3×(D1×D1×R-D2)×t计算获取质谱的质匹系数，其中，β表示为质谱补偿因子，R表示为导线电阻，t表示为检测的时长，G3表示为导线类型对应的线型关联值，D1表示为导线电流，D2表示为额定热量；将质匹系数与预设的质匹范围进行匹配，若质匹系数不属于质匹范围，则生成第三校准指令；电匹系数和第一校准指令、抽匹系数和第二校准指令、质匹系数和第三校准指令构成校准结果。

4.一种根据权利要求3所述的氦质谱检漏仪校准系统的校准方法，其特征在于，具体的步骤包括：采集氦质谱检漏仪的电气信息、抽气信息和质谱信息；对采集的电气信息、抽气信息和质谱信息进行特征提取和处理，得到包含电气标记合集、抽气标记合集和质谱标记合集的特征处理集；根据特征处理集对氦质谱检漏仪进行分析和校准，得到包含电匹系数和第一校准指令、抽匹系数和第二校准指令、质匹系数和第三校准指令的校准结果；根据第一校准指令、第二校准指令和第三校准指令对氦质谱检漏仪进行校准。