[发明专利]一种化学放大型正性紫外光刻胶及其制备与使用方法

权利要求书

1.一种化学放大型正性紫外光刻胶，其特征在于，所述光刻胶包括如下质量百分比的各组分：

2.如权利要求1所述的化学放大型正性紫外光刻胶，其特征在于，所述聚对羟基苯乙烯类聚合物树脂包括第一聚对羟基苯乙烯类聚合物树脂和第二聚对羟基苯乙烯类聚合物树脂；

所述第一聚对羟基苯乙烯类聚合物树脂包括第一聚对羟基苯乙烯和/或第一聚对羟基苯乙烯的衍生物，其中，所述第一聚对羟基苯乙烯为对羟基苯乙烯、苯乙烯和丙烯酸叔丁酯的共聚物，所述第一聚对羟基苯乙烯的衍生物包括叔丁氧羰基保护的第一聚对羟基苯乙烯、叔丁基保护的第一聚对羟基苯乙烯、缩醛保护的第一聚对羟基苯乙烯和缩酮保护的第一聚对羟基苯乙烯中的一种或多种；

所述第二聚对羟基苯乙烯类聚合物树脂为对羟基苯乙烯、苯乙烯和对甲氧基苯乙烯的共聚物。

3.如权利要求2所述的化学放大型正性紫外光刻胶，其特征在于，所述第一聚对羟基苯乙烯类聚合物树脂的质量百分比为5～15％，所述第二聚对羟基苯乙烯类聚合物树脂的质量百分比为20～30％。

4.如权利要求2所述的化学放大型正性紫外光刻胶，其特征在于，所述光刻胶还包括如下技术特征中的至少一项：

1a)所述第一聚对羟基苯乙烯类聚合物树脂为江苏汉拓光学材料有限公司ST25；

1b)所述第一聚对羟基苯乙烯类聚合物树脂的重均分子量为20000～30000；

1c)所述第一聚对羟基苯乙烯类聚合物树脂的分子量分布系数为1.5～3.5；

1d)所述第二聚对羟基苯乙烯类聚合物树脂为江苏汉拓光学材料有限公司S601；

1e)所述第二聚对羟基苯乙烯类聚合物树脂的重均分子量为6000～18000；

1f)所述第二聚对羟基苯乙烯类聚合物树脂的分子量分布系数为1.5～2.5。

5.如权利要求1所述的化学放大型正性紫外光刻胶，其特征在于，所述光刻胶还包括如下技术特征中的至少一项：

2a)所述光致产酸剂选自N-羟基萘酰亚胺三氟甲磺酸、(4,8-二羟基-1-萘基)二甲基锍三氟甲磺酸盐、(4,7-二羟基-1-萘基)二甲基锍三氟甲磺酸盐、(4-甲氧基萘基)二苯基锍三氟甲磺酸盐、(4-苯基硫代苯基)二苯基锍三氟甲磺酸盐、2-(苯并[d][1,3]二氧戊环-5-基)-4,6-双(三氯甲基)-1,3,5-三嗪、2-(2,4-二甲氧基苯乙烯基)-4,6-双(三氯甲基)-1,3,5-三嗪和2-[4-(4-甲氧基苯基)苯基]-4,6-双(三氯甲基)-1,3,5-三嗪中的至少一种；

2b)所述酸猝灭剂选自三乙胺、三丁胺、三辛胺和三(3,6-二氧杂庚基)胺中的至少一种；

2c)所述交联剂选自二乙二醇二乙烯基醚、四甲氧甲基甘脲和六甲氧甲基三聚氰胺中的至少一种；

2d)所述流平剂选自3M氟碳表面活性剂FC-4430和特洛伊Troysol S366中的至少一种；

2e)所述溶剂选自苯甲醚、甲苯、二甲苯、三甲苯、氯代苯、二氯苯、丙二醇单醋酸酯、丙二醇甲醚醋酸酯、丙二醇单甲醚、丙二醇单乙醚、二缩乙二醇甲醚、二缩乙二醇乙醚、二缩乙二醇甲乙醚、醋酸丁酯、醋酸新戊酯、甲基乙基酮、甲基异丁基酮、环戊酮、环己酮、双丙酮醇、γ-丁内脂和乳酸乙酯中的至少一种。

6.一种如权利要求1～5任一所述化学放大型正性紫外光刻胶的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括如下步骤：将所述聚对羟基苯乙烯类聚合物树脂、所述光致产酸剂、所述酸猝灭剂、所述交联剂、所述流平剂以及所述溶剂按比例进行混合后，得到所述化学放大型正性紫外光刻胶。

7.如权利要求6所述的化学放大型正性紫外光刻胶的制备方法，其特征在于，在所有原料混合后，所述制备方法包括过滤。

8.如权利要求7所述的化学放大型正性紫外光刻胶的制备方法，其特征在于，过滤孔径为1～5μm。