[发明专利]一种工业超短脉冲激光器

权利要求书

1.一种工业超短脉冲激光器，包括种子激光及功率放大单元(1)，其特征在于，所述种子激光及功率放大单元(1)通过冷却单元(2)集成连接有电子及控制单元(3)，所述种子激光及功率放大单元(1)置于冷却单元(2)的顶部，且种子激光及功率放大单元(1)用于生成激光并进行功率放大，且电子及控制单元(3)置于冷却单元(2)底部，且电子及控制单元(3)控制对激光功率进行监测控制，所述冷却单元(2)用于对两侧集成的种子激光及功率放大单元(1)和电子及控制单元(3)进行同步水冷循环冷却；

所述种子激光及功率放大单元(1)包括种子激光模块(101)，所述种子激光模块(101)输出端连接有脉冲选择模块(102)，所述脉冲选择模块(102)输出端连接有一级功率放大系统(103)，所述一级功率放大系统(103)输出端电性连接有二级功率放大系统(104)，所述二级功率放大系统(104)输出端电性连接有三级功率放大系统(105)，所述三级功率放大系统(105)输出端连接有激光输出模块(106)。

2.根据权利要求1所述的一种工业超短脉冲激光器，其特征在于，所述电子及控制单元(3)包括种子激光控制模块(301)，且种子激光控制模块(301)与种子激光模块(101)电性连接，所述种子激光控制模块(301)还连接有脉冲选择控制模块(302)，所述脉冲选择控制模块(302)输出端脉冲选择模块(102)输入端电性连接，所述脉冲选择控制模块(302)输出端连接有激光二极管启动模块(303)，所述激光二极管启动模块(303)输出端电性连接有温度控制模块(304)，所述温度控制模块(304)输出端电性连接有射频控制模块(305)，所述射频控制模块(305)输出端电性连接有外部通讯及控制模块(306)，所述激光二极管启动模块(303)输出端与一级功率放大系统(103)输入端电性连接，所述射频控制模块(305)输出端与一级功率放大系统(103)、二级功率放大系统(104)和三级功率放大系统(105)输入端电性连接，所述温度控制模块(304)和射频控制模块(305)输出端与激光输出端相连接，所述外部通讯及控制模块(306)与外部控制端相连接。

3.根据权利要求1所述的一种工业超短脉冲激光器，其特征在于，所述种子激光模块(101)包括SFP可拔插式光纤收发器，用于实现全局系统的设备同步。

4.根据权利要求1所述的一种工业超短脉冲激光器，其特征在于，所述电子及控制单元(3)通过FPGA芯片控制，FPGA芯片为RF驱动器提供逻辑和触发信号的控制系统，且FPGA芯片以100MHz时钟运行。

5.根据权利要求1所述的一种工业超短脉冲激光器，其特征在于，所述冷却单元(2)包括填充有冷却水液的吸热箱(201)，所述吸热箱(201)两侧均固定连接有若干散热鳍片(203)，且吸热箱(201)顶部两侧均设有连通管(202)，且连通管(202)通过连通外管(204)与控制泵(205)相连通，且吸热箱(201)两侧分别与对应位置的种子激光及功率放大单元(1)和电子及控制单元(3)相贴合。

6.根据权利要求5所述的一种工业超短脉冲激光器，其特征在于，所述散热鳍片(203)为铝制导热片，且散热鳍片(203)外侧壁镀有防腐蚀锌层。

7.根据权利要求1所述的一种工业超短脉冲激光器，其特征在于，所述电子及控制单元(3)的电气系统包括二极管、RF、IO和通信端口，且IO端口包括数字IO，模拟IO，GigE网络和RS 232端口。

8.根据权利要求7所述的一种工业超短脉冲激光器，其特征在于，所述RS232端口用于与服务器连接外部用户程序控制的通信软件。