[发明专利]一种纳米铈基抛光浆液的制备方法

权利要求书

1.一种纳米铈基抛光浆液的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)室温搅拌条件下将过氧化氢和氨水的混合溶液滴加至Ce(NO₃)₃溶液中，滴加完毕反应液pH值为8.0～8.5，继续搅拌0.5～2.0h，然后将反应液加热至90℃搅拌1～3h，趁热减压过滤使固液分离，固体用去离子水洗涤过滤至滤液呈中性，得到纳米氢氧化铈；

2)所得纳米氢氧化铈超声分散于水中，搅拌条件下，加入过氧化氢和pH调节剂，配成抛光浆液。

2.根据权利要求1所述一种纳米铈基抛光浆液的制备方法，其特征在于，步骤1)所述Ce(NO₃)₃按反应液总体积计浓度为0.1～0.3mol/L。

3.根据权利要求1所述一种纳米铈基抛光浆液的制备方法，其特征在于，步骤1)所述过氧化氢与Ce(NO₃)₃的摩尔比为0.75～1.50：1。

4.根据权利要求1所述一种纳米铈基抛光浆液的制备方法，其特征在于，步骤1)NH₃与Ce(NO₃)₃的摩尔比为3.2～3.6：1。

5.根据权利要求1所述一种纳米铈基抛光浆液的制备方法，其特征在于，步骤1)所得纳米氢氧化铈颗粒尺寸为3～10nm。

6.根据权利要求1所述一种纳米铈基抛光浆液的制备方法，其特征在于，步骤2)所得抛光浆液中氢氧化铈含量为0.05～0.30mol/L；所述过氧化氢以过氧化氢与氢氧化铈摩尔比0.05～0.20：1添加。

7.根据权利要求1所述一种纳米铈基抛光浆液的制备方法，其特征在于，步骤2)所述pH调节剂为氨水、氢氧化钠中任一种；所述抛光浆液pH值为7.0～11.0。

8.根据权利要求1所述一种纳米铈基抛光浆液的制备方法，其特征在于，步骤2)所述纳米氢氧化铈具有高表面化学活性，能与过氧化氢发生如下化学反应生成氧化性较强的过氧化氢氧化铈(Ce(OH)₃OOH)：Ce(OH)₄+H₂O₂＝Ce(OH)₃OOH+H₂O，从而强化化学去除作用。