[发明专利]电极结构的制造装置及其制造方法、触控面板

说明书

本发明公开了一种电极结构的制造装置及其制造方法、触控面板，该电极结构的制造方法包括在一导电基材上形成一感光材料层，采用第一掩膜版曝光感光材料层，更换第二掩膜版曝光经第一掩膜版曝光后的感光材料层，其中，第一掩膜版和第二掩膜版的遮光方向不同，处理感光材料层和导电基材，以形成电极结构。本发明技术方案通过第一掩膜版和第二掩膜版两次曝光，可以在感光材料层上叠加形成包含有尖角的图案，对应地，在对感光材料层和导电基材处理后，可以得到包含有尖角的电极结构，避免了电极结构上形成圆角，从而提高电极结构的透光率。

技术领域

本发明涉及触摸屏技术领域，尤其涉及电极结构的制造装置及其制造方法、触控面板。

背景技术

触摸屏成为最直观的人机交互装置，广泛应用在各种电子设备的操控输入，例如，手机、电视机、平板等电子产品都有应用。

通过触摸屏的电极结构可以确定用户在触摸屏上操作的坐标，该电极结构可以为两组相互垂直的导电线，从而通过电极结构提供两个方向的电极信号，确定用户在触摸屏上操作的坐标，实现操控输入功能。

目前，制造触摸屏的电极结构的方法为，在导电层上设置感光层，在感光层上覆盖菲林，菲林上设置有阵列分布的方孔，通过光源照射菲林，对感光层进行曝光，最终通过化学蚀刻的方式蚀刻导电层，得到电极结构，然而，由于菲林上的方孔具有圆角结构，即方孔的顶点处为圆角而非直角，导致使用化学蚀刻的方式蚀刻导电层时，得到的电极结构上的方孔上也具有圆角，电极结构上的圆角会影响电极结构的透光率。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种电极结构的制造装置及其制造方法、触摸屏，旨在解决电极结构透光率低的技术问题。

为实现上述目的，本发明提供一种电极结构的制造方法，所述电极结构的制造方法包括以下步骤：

在一导电基材上形成一感光材料层；

采用第一掩膜版曝光所述感光材料层；

更换第二掩膜版曝光经所述第一掩膜版曝光后的所述感光材料层，其中，所述第一掩膜版和所述第二掩膜版的遮光方向不同；

处理所述感光材料层和所述导电基材，以形成电极结构。

可选地，所述处理所述感光材料和所述导电基材，以形成电极结构的步骤包括：

采用显影液对所述感光材料层进行显影，以形成感光层；

采用蚀刻液蚀刻所述导电基材，以形成电极结构。

可选地，所述采用蚀刻液蚀刻所述导电基材的步骤之后，还包括：

脱模所述感光层，以形成电极结构。

可选地，所述采用显影液对所述感光材料层进行显影的步骤之后，还包括：

烘烤所述感光材料层，以形成感光层。

可选地，所述更换第二掩膜版曝光经所述第一掩膜版曝光后的所述感光材料层的步骤包括：

将采用所述第一掩膜版曝光后的所述感光材料层从所述第一掩膜版的正对位置移动至第二掩膜版的正对位置；

采用所述第二掩膜版曝光所述感光材料层。

可选地，所述更换第二掩膜版曝光经所述第一掩膜版曝光后的所述感光材料层的步骤包括：

将对所述感光材料层曝光后的所述第一掩膜版从所述感光材料层的正对位置拿走；

将第二掩膜版放置于所述感光材料层的正对位置；

采用所述第二掩膜版曝光所述感光材料层。

此外，本发明还提供一种触控面板，所述触控面板包括：