[发明专利]三维形状测量用X射线CT装置的长度测量误差评价用器具

说明书

本发明提供一种三维形状测量用X射线CT装置的长度测量误差评价用器具，能够完全地捕捉X射线CT装置固有的空间畸变，能够对X射线CT装置的三维形状测量精度进行评价。三维形状测量用X射线CT装置的长度测量误差评价用器具(30)具有：基台(31)；安装于该基台(1)上的、长度不同的支承棒(36、37、38)；固定在这些支承棒的前端的15个球(35)。在基台(1)上以彼此具有规定的间隔的方式配置有支承棒(36、37、38)。此时，固定在支承棒(36、37、38)的前端的15个球(35)被配置为位于基台(31)上的XYZ空间的不同坐标。

本发明申请是基于株式会社岛津制作所和国立研究开发法人产业技术综合研究所的PCT申请号为PCT/JP2018/012546、主题为“三维形状测量用X射线CT装置的长度测量误差评价用器具”的国际申请进入中国国家阶段的中国发明申请递交的分案申请，中国发明申请的申请号为201880025507.9，申请日为2018年3月27日。

技术领域

本发明涉及作为被检查物的尺寸测量用而设计出的三维形状测量用X射线CT装置的长度测量误差评价用器具。

背景技术

近年来,利用作为被检查物的内部结构的观察装置而开发的X射线CT装置，进行被检查物的包含内部形状的尺寸测量。关于作为三维形状测量用而设计的X射线CT装置的测量精度评价法，虽然进行了用于国际标准的维护的讨论，但在目前的装置中，例如，通过由德国的国内引导线VDI/VDE2630-1.3(关于X射线CT的尺寸测量的引导线)计算出的测量精度，进行装置的精度保证。而且，作为与VDI/VDE2630-1.3对应的三维形状测量用X射线CT装置的长度测量误差评价用器具(以下，称为器具)，已知有卡尔蔡司(Carl Zeiss)公司制的器具(参照非专利文献1)。

非专利文献1所记载的器具是被称为跟踪仪的类型。在被称为跟踪仪的器具中，通过在台阶状的基台上竖立设置支承球的支承棒，从而将球配置在空间中。作为球的数量，已知有27球的跟踪仪或22球的跟踪仪。

此外,在专利文献1中,提出了一种X射线CT装置的校正器，其目的在于，根据从X射线CT装置得到的投影图像，高精度地校正包含被检查物的内部形状的形状尺寸。专利文献1所记载的器具通过将球固定于圆筒体的外圆周而将球配置于空间。

在对这样的器具进行X射线CT拍摄之前，使用CMM(Coordinate MeasuringMachine：接触式三维坐标测量器)等进行各球的坐标测量。然后，根据从坐标测量结果求出的现实的球间距离的值与在X射线CT拍摄时测量的拍摄空间中的球间距离的值之差，对X射线CT的长度测量误差进行评价。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2014-190933号公报

非专利技术文献

非专利技术文献1：D.Weiss、R.Lonardoni、A.Deffner、C.Kuhn、《平板X射线探测器中的几何图像畸变及其影响因素基于CT的尺寸测量精度探讨》，第四届工业计算层析拍摄会议(iCT)，2012年9月19-21日，奥地利韦尔斯(iCT 2012)

发明内容

发明要解决的技术问题

专利文献1所记载的校正器由于无法在圆筒体内部的空洞内配置球，因此存在只能评价拍摄空间上的圆筒形状的区域的问题。另一方面，在被称为跟踪仪的器具中，能够在中心轴上配置球，但存在如下的问题。