[发明专利]晶圆清洗设备

说明书

本发明一个或多个实施例公开了一种晶圆清洗设备，用以解决现有的晶圆清洗设备的安全性较低的问题。包括工艺槽组件、自保护装置和第一安全控制组件；工艺槽组件包括槽体、设置于槽体内的加热器、加热控制器件以及控制系统；加热控制器件在接收到控制系统发送的加热控制信号时导通，并控制加热器工作；加热控制器件在未接收到加热控制信号时断开，并控制加热器停止工作；自保护装置包括第一保护回路和安全保护组件；自保护装置用于控制加热控制器件导通或断开；第一安全控制组件串联于加热控制器件和控制系统之间，且与自保护装置连接；第一安全控制组件用于在加热器满足预设断电条件时控制加热控制器件断开。

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种晶圆清洗设备。

背景技术

清洗技术是半导体制造过程中的重要一环。其中，湿法清洗技术是一种主要清洗技术，槽式清洗设备为目前普遍采用的一种湿法清洗设备。而槽式清洗设备在运行过程中易出现一些危险情况，如机械部件的碰撞、加热器从支架上跌落、设备起火等，这严重威胁了作业人员和产品的安全，因此在设计槽式清洗设备时考虑安全控制策略显得尤为重要。而现有的槽式清洗设备中的安全控制策略的安全等级较低，难以应对清洗液需要加热到超高温、以及涉及加热高危险化学药液时，出现的危险情况，导致无法确保作业人员、产品和槽式清洗设备的安全。

发明内容

本发明一个或多个实施例的目的是提供一种晶圆清洗设备，用以解决现有的晶圆清洗设备的安全性较低的问题。

为解决上述技术问题，本发明一个或多个实施例是这样实现的：

一方面，本发明一个或多个实施例提供一种晶圆清洗设备，包括工艺槽组件、自保护装置和第一安全控制组件；

所述工艺槽组件包括槽体、设置于所述槽体内的加热器、加热控制器件以及控制系统；所述加热控制器件在接收到所述控制系统发送的加热控制信号时导通，并控制所述加热器工作；所述加热控制器件在未接收到所述加热控制信号时断开，并控制所述加热器停止工作；

所述自保护装置包括第一保护回路和安全保护组件；所述自保护装置用于控制所述加热控制器件导通或断开；

所述第一安全控制组件串联于所述加热控制器件和所述控制系统之间，且与所述自保护装置连接；所述第一安全控制组件用于在所述加热器满足预设断电条件时控制所述加热控制器件断开。

采用本发明实施例的晶圆清洗设备，通过在工艺槽组件上连接自保护装置和第一安全控制组件，自保护装置包括第一保护回路和安全保护组件，通过自保护装置控制与加热器连接的加热控制器件导通或断开，从而控制加热器工作或者停止工作。并且，通过串联于加热控制器件和控制系统之间、且与自保护装置连接的第一安全控制组件，在加热器满足预设断电条件和/或未接收到控制系统发送的加热控制信号时，控制加热控制器件断开，从而控制加热器停止工作。可见，该晶圆清洗设备通过设置自保护装置和第一安全控制组件，能够在加热器需断电时(如满足预设断电条件时)分别控制加热器停止工作，从而实现了对加热器是否工作的双重控制，避免仅设置自保护装置时容易出现控制失效、进而导致加热器无法正常断电的情况，大大降低了加热器内的多重风险，从而确保了清洗液加热过程中晶圆清洗设备的安全性。

附图说明

为了更清楚地说明本发明一个或多个实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明一个或多个实施例中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是根据本发明一实施例的一种晶圆清洗设备的示意性框图；

图2是根据本发明一实施例的一种工艺槽组件的示意性框图；

图3是根据本发明另一实施例的一种晶圆清洗设备的示意性框图；