[发明专利]晶圆清洗设备

权利要求书

1.一种晶圆清洗设备，其特征在于，包括工艺槽组件、自保护装置和第一安全控制组件；

所述工艺槽组件包括槽体、设置于所述槽体内的加热器、加热控制器件以及控制系统；所述加热控制器件在接收到所述控制系统发送的加热控制信号时导通，并控制所述加热器工作；所述加热控制器件在未接收到所述加热控制信号时断开，并控制所述加热器停止工作；

所述自保护装置包括第一保护回路和安全保护组件；所述自保护装置用于控制所述加热控制器件导通或断开；

所述第一安全控制组件串联于所述加热控制器件和所述控制系统之间，且与所述自保护装置连接；所述第一安全控制组件用于在所述加热器满足预设断电条件时控制所述加热控制器件断开。

2.根据权利要求1所述的晶圆清洗设备，其特征在于，所述安全保护组件包括第一保护器件，所述第一保护器件包括控制部、第一开关部和第二开关部；

所述第一保护器件的控制部的一端与所述第一保护回路连接，所述第一保护器件的控制部的另一端与所述控制系统连接，所述第一保护器件的第一开关部与所述加热控制器件连接；所述第一保护回路用于控制所述第一保护器件导通或断开；

所述第一安全控制组件包括第一控制器件；所述第一控制器件的开关部串联于所述加热控制器件和所述控制系统之间，所述第一控制器件的控制部和所述第一保护器件的第二开关部连接。

3.根据权利要求2所述的晶圆清洗设备，其特征在于，所述第一保护器件的第二开关部为常闭触点；

在所述加热器满足所述预设断电条件时，所述第一保护器件的第一开关部、所述第一控制器件的开关部和所述加热控制器件断开，所述第一保护器件的第二开关部闭合。

4.根据权利要求2所述的晶圆清洗设备，其特征在于，所述安全保护组件还包括串联于所述第一保护回路和所述第一保护器件之间的第二保护器件；所述第二保护器件包括控制部、第三开关部和第四开关部；

所述第二保护器件的控制部与所述第一保护回路连接，所述第二保护器件的第三开关部和所述第一保护器件的控制部连接；所述第一保护回路用于控制所述第二保护器件导通或断开，所述第二保护器件用于控制所述加热控制器件导通或断开；

所述第一安全控制组件包括所述第二保护器件；所述第二保护器件的第四开关部串联于所述加热控制器件和所述控制系统之间。

5.根据权利要求4所述的晶圆清洗设备，其特征在于，所述第二保护器件的第四开关部为常开触点；

在所述加热器满足所述预设断电条件时，所述第二保护器件的第三开关部、所述第二保护器件的第四开关部、所述第一保护器件的第一开关部和所述加热控制器件断开。

6.根据权利要求4所述的晶圆清洗设备，其特征在于，还包括第二安全控制组件；所述第二安全控制组件包括第二控制器件；所述第一保护器件还包括第五开关部；

所述第一保护器件的第五开关部和所述第一保护回路连接，所述第一保护回路和所述第二控制器件的控制部连接，所述第一保护器件的第一开关部分别与所述第二控制器件的控制部和所述第二控制器件的开关部连接；

所述第二控制器件用于在所述加热器满足所述预设断电条件、且所述第一保护器件异常时，控制所述加热控制器件导通或断开。

7.根据权利要求6所述的晶圆清洗设备，其特征在于，所述第一保护器件的第五开关部为常开触点；

在所述加热器满足所述预设断电条件、且所述第一保护器件异常时，所述第一保护回路导通，所述第一保护器件的第五开关部闭合，所述第二控制器件的开关部和所述加热控制器件断开。