[发明专利]一种双通道芯片检测设备有效
申请号: | 202110852844.9 | 申请日: | 2021-07-27 |
公开(公告)号: | CN113433070B | 公开(公告)日: | 2023-02-17 |
发明(设计)人: | 晁阳升;王珲荣 | 申请(专利权)人: | 湖南奥创普科技有限公司 |
主分类号: | G01N21/13 | 分类号: | G01N21/13;G01N21/95 |
代理公司: | 北京易捷胜知识产权代理有限公司 11613 | 代理人: | 张珍珍;李丽敏 |
地址: | 410000 湖南省长沙市高新开发*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 双通道 芯片 检测 设备 | ||
本发明涉及一种双通道芯片检测设备,其包括底座、上料装置、底面检测装置、取料机构以及相对设置的第一检测装置和第二检测装置。第一检测装置和第二检测装置均包括正面检测机构、端面检测机构以及旋转机构,端面检测机构、旋转机构和正面检测机构均安装在底座上。在第一检测装置工作的过程中,第二检测装置也在同步工作,第一检测装置的动作与第二检测装置的动作保持一致,取料上料装置两个通道上料,取料机构同时为两个通道运送待检测的芯片以及将检测完成的芯片放回上料装置内,有效地加快设备的工作节拍,从而提高工作效率效率。芯片检测通过双通道芯片检测设备完成,无需人工参与,有效地提高了芯片检测的自动化程度,进而提高了工作效率。
技术领域
本发明涉及视觉检测技术领域,尤其涉及一种双通道芯片检测设备。
背景技术
集成电路芯片成品生产后需要对芯片的各个面进行高精度的视觉检测,确保芯片视觉检测合格后才能进行后续的检测以及功能测试,而检测不合格芯片则进行回收。
现有的芯片检测过程包括人工检测和设备检测,人工检测是通过劳动密集形工人对芯片逐一通过肉眼进行检测,这种检测方式效率低下,检测误差大,并且在检测过程中检测环境极易对芯片造成污染。设备检测是通过检测相机对芯片的一个面进行检测后,通过人工调整芯片的位置,再进行另一面的检测。现有的设备检测无法与自动上料和下料设备相配合来实现全自动检测,并且后续包装等工序也无法同时自动完成,严重影响了芯片检测的整体效率。
发明内容
(一)要解决的技术问题
鉴于现有技术的上述缺点和不足,本发明提供一种双通道芯片检测设备,其解决了芯片检测效率低以及芯片检测的自动化程度低的技术问题。
(二)技术方案
为了达到上述目的,本发明的双通道芯片检测设备包括:
所述双通道芯片检测设备包括底座、上料装置、取料机构、底面检测装置以及相对设置的第一检测装置和第二检测装置;
所述上料装置设置于所述底座上,所述上料装置用于放置多个芯片,所述上料装置能够沿x轴方向运动;
所述第一检测装置和所述第二检测装置均包括正面检测机构、端面检测机构以及旋转机构,所述端面检测机构、所述旋转机构和所述正面检测机构均设置于所述底座上;
所述旋转机构能够沿x轴和y轴方向运动,所述旋转机构上水平设置有旋转台,所述旋转台能够以穿过自身对称中心的竖直线为旋转轴旋转;
所述端面检测机构能够沿z轴方向运动;
所述取料机构设置于所述端面检测机构上,所述取料机构均能够沿x轴、y轴和z轴方向运动,其中x轴、y轴和z轴中任意两者相互垂直,所述取料机构用于将所述上料装置中芯片运送至所述旋转台上;
所述旋转台能够叠置于所述正面检测机构的正下方;
所述底面检测装置设置于所述底座上,所述底面检测装置位于所述第一检测装置的所述旋转机构和所述第二检测装置的所述旋转机构之间。
可选地,所述旋转机构还包括第一旋转安装架、第二旋转安装架、第一滑行驱动组件、第二滑行驱动组件以及旋转组件;
所述双通道芯片检测设备还包括第一滑行导轨,所述第一滑行导轨沿x轴方向设置于所述底座上,所述第一旋转安装架与所述第一滑行导轨滑动连接;
所述第二旋转安装架通过第二滑行导轨滑动设置于所述第一旋转安装架上,所述第二滑行导轨与y轴方向平行;
所述第一滑行驱动组件设置于所述底座上,所述第二滑行驱动组件设置于所述第一旋转安装架上,所述第一滑行驱动组件能够驱动所述第一旋转安装架沿所述第一滑行导轨运动,所述第二滑行驱动组件能够驱动所述第二旋转安装架沿所述第二滑行导轨运动;
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