[发明专利]一种双通道芯片检测设备有效

专利信息
申请号: 202110852844.9 申请日: 2021-07-27
公开(公告)号: CN113433070B 公开(公告)日: 2023-02-17
发明(设计)人: 晁阳升;王珲荣 申请(专利权)人: 湖南奥创普科技有限公司
主分类号: G01N21/13 分类号: G01N21/13;G01N21/95
代理公司: 北京易捷胜知识产权代理有限公司 11613 代理人: 张珍珍;李丽敏
地址: 410000 湖南省长沙市高新开发*** 国省代码: 湖南;43
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摘要:
搜索关键词: 一种 双通道 芯片 检测 设备
【权利要求书】:

1.一种双通道芯片检测设备,其特征在于,所述双通道芯片检测设备包括底座、上料装置、取料机构、底面检测装置以及相对设置的第一检测装置和第二检测装置;

所述上料装置设置于所述底座上,所述上料装置用于放置多个芯片,所述上料装置能够沿x轴方向运动;

所述第一检测装置和所述第二检测装置均包括正面检测机构、端面检测机构以及旋转机构,所述端面检测机构、所述旋转机构和所述正面检测机构均设置于所述底座上,所述第一检测装置和所述第二检测装置能够同步工作以形成两个检测通道;

所述旋转机构能够沿x轴和y轴方向运动,所述旋转机构上水平设置有旋转台,所述旋转台能够以穿过自身对称中心的竖直线为旋转轴旋转;

所述端面检测机构能够沿z轴方向运动;

所述取料机构设置于所述端面检测机构上,所述取料机构均能够沿x轴、y轴和z轴方向运动,其中x轴、y轴和z轴中任意两者相互垂直,所述取料机构用于将所述上料装置中芯片运送至所述旋转台上;

所述旋转台能够叠置于所述正面检测机构的正下方;

所述底面检测装置设置于所述底座上,所述底面检测装置位于所述第一检测装置的所述旋转机构和所述第二检测装置的所述旋转机构之间。

2.如权利要求1所述的双通道芯片检测设备,其特征在于,所述旋转机构还包括第一旋转安装架、第二旋转安装架、第一滑行驱动组件、第二滑行驱动组件以及旋转组件;

所述双通道芯片检测设备还包括第一滑行导轨,所述第一滑行导轨沿x轴方向设置于所述底座上,所述第一旋转安装架与所述第一滑行导轨滑动连接;

所述第二旋转安装架通过第二滑行导轨滑动设置于所述第一旋转安装架上,所述第二滑行导轨与y轴方向平行;

所述第一滑行驱动组件设置于所述底座上,所述第二滑行驱动组件设置于所述第一旋转安装架上,所述第一滑行驱动组件能够驱动所述第一旋转安装架沿所述第一滑行导轨运动,所述第二滑行驱动组件能够驱动所述第二旋转安装架沿所述第二滑行导轨运动;

所述旋转组件设置于所述第二旋转安装架上,所述旋转台水平设置于所述旋转组件上。

3.如权利要求2所述的双通道芯片检测设备,其特征在于,所述旋转组件包括旋转伺服电机、旋转机壳以及旋转内轴;

所述旋转机壳设置于所述第二旋转安装架上,所述旋转伺服电机设置于所述旋转机壳上;

所述旋转内轴与所述旋转机壳转动连接,所述旋转内轴竖直设置,所述旋转内轴与所述旋转伺服电机的转轴连接;

所述旋转台水平设置于所述旋转内轴的上端面。

4.如权利要求3所述的双通道芯片检测设备,其特征在于,所述旋转台上开设有多个第一通孔,所述旋转机壳上开设有第二通孔;

所述旋转内轴的内部设置有导气管,所述导气管的第一端与所述第一通孔连通,所述导气管的第二端始终与所述第二通孔连通。

5.如权利要求1-4任意一项所述的双通道芯片检测设备,其特征在于,所述端面检测机构包括端面检测相机以及端面驱动组件;

所述双通道芯片检测设备还包括端面安装架,所述端面安装架设置于所述底座上;

所述端面检测相机通过端面导轨滑动设置于所述端面安装架上,所述端面导轨与z轴方向平行;

所述端面检测相机的水平设置,且所述第一检测装置的所述端面检测相机与所述第二检测装置的所述端面检测相机的镜头相对;

所述端面驱动组件设置于所述端面安装架,所述端面驱动组件能够驱动所述端面检测相机沿所述端面导轨运动。

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