[发明专利]一种用于调整电子显微镜钨灯丝与固定盘同心的装置及方法

说明书

本发明提供了一种用于调整电子显微镜钨灯丝与固定盘同心的装置及方法，具体涉及电子显微镜检修与维护技术领域。该装置包括支架和一对夹头，支架梁体呈水平设置，梁体顶面设置有一对限位孔，用于固定钨灯丝的灯丝脚，梁体底面设置有一对凸起，用于将支架与固定盘相固定，夹头分别设置于支架两端，用于固定支架，包括上夹片和下夹片，上夹片与下夹片通过设置于两者之间的弹簧相连接，上夹片与下夹片的夹持端均设置有防滑垫。本发明还提供了一种用于调整电子显微镜钨灯丝与固定盘同心的方法，实现了对钨灯丝与固定盘的快速同心对准，无需实验人员进行肉眼观察并具有装配经验，大幅度提高了钨灯丝与固定盘同心操作的准确性。

技术领域

本发明涉及电子显微镜检修与维护技术领域，具体涉及一种用于调整电子显微镜钨灯丝与固定盘同心的装置及方法。

背景技术

目前，扫描电子显微镜作为一类大型精密仪器，已广泛应用于材料学、冶金工业、地质学、生物学及临床医学等技术领域，在微观形貌观察和元素分析方面起到了重要作用。钨灯丝作为扫描电子显微镜中热电子发射型电子枪的重要元器件，安装要求极其严格，安装过程中需要保证灯丝顶端与灯丝组件固定盘的固定孔中心对齐，即需要保证钨灯丝的灯丝顶端与固定盘内孔同心，钨灯丝顶端与固定盘的固定孔同心是保证扫描电子显微镜高质量成像的基础，同时，若钨灯丝顶端与固定盘不同心则会因增加偏压或电流补偿亮度而大幅度的缩短钨灯丝的使用寿命。

专利CN 110223900 A中公开了一种利用体视显微镜对中扫描电镜钨灯丝的操作方法，具体包括以下步骤：第一，通过控制对中调节螺丝的旋转角度，逐步缩小灯丝偏离栅极孔中心的幅度，防止调节过程中钨灯丝反复偏离中心，缩短了调节时间；第二，通过在体视显微镜工作台面设置定位圈，结合肉眼观察和手动定位，保证了栅极帽始终处于体视显微镜视场的中心位置，大幅度缩短了每次观察钨灯丝对中效果的操作时间；第三，通过量化和细化操作动作，实现了对钨灯丝的快速精准对中。但是，该专利公开的技术方案操作过程中需要实验人员通过肉眼观察调整固定盘的四个螺丝，使得陶瓷座与固定盘同心，从而保证钨灯丝的灯丝顶端与固定盘的固定孔同心，该操作过程完全依赖实验人员自身的操作经验，需要实验人员具有丰富的装配经验，若实验人员装配经验不足，则无法快速准确地实现对钨灯丝与固定盘的同心操作。

因此，亟需提出一种用于调整电子显微镜钨灯丝与固定盘同心的装置及方法，使得即使实验人员在缺乏装配经验的情况下，也能实现对电子显微镜钨灯丝与固定盘的同心操作。

发明内容

本发明的目的是为了解决上述现有技术的不足，提供了一种用于调整电子显微镜钨灯丝与固定盘同心的装置及方法。

为实现上述目的，本发明采用如下技术方案：

一种用于调整电子显微镜钨灯丝与固定盘同心的装置，包括支架和一对夹头；所述支架呈U型结构，两端分别设置有夹头，支架的梁体呈水平设置，梁体顶面设置有一对限位孔，底面设置有一对凸起；

所述夹头分别设置于支架两端，与支架端面相连接，夹头包括上夹片和下夹片，上夹片与下夹片通过夹于两者之间的弹簧相连接，上夹片与下夹片的夹持端均设置有防滑垫。

优选地，所述限位孔以支架梁体的顶面中心为对称中心，沿梁体的中心线对称设置，限位孔的尺寸与钨灯丝的灯丝脚尺寸相匹配。

优选地，所述限位孔之间的距离与钨灯丝的灯丝脚间距相同。

优选地，所述凸起以支架梁体的底面中心为对称中心，沿梁体的中心线对称设置，与设置于固定盘底部开口端的凹槽尺寸相匹配，用于嵌入凹槽内部。

优选地，所述凸起的高度与凹槽的槽体深度相同，凸起的长度不小于凹槽的槽体长度。

优选地，所述凸起之间的距离与固定盘底部开口端凹槽之间的距离相同。

优选地，所述支架和夹头均采用金属材料制成。