[发明专利]光接收元件、成像元件和成像装置在审
申请号: | 202110824699.3 | 申请日: | 2018-01-05 |
公开(公告)号: | CN113764450A | 公开(公告)日: | 2021-12-07 |
发明(设计)人: | 佐野拓也 | 申请(专利权)人: | 索尼半导体解决方案公司 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146 |
代理公司: | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人: | 梁兴龙;曹正建 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 接收 元件 成像 装置 | ||
1.一种成像元件,包括:
像素阵列部,其包括构造成对入射光执行光电转换的多个像素,
其中所述像素包括
构造成对入射光执行光电转换的基板,和
信号提取部,其包括用于通过向所述基板施加电压来产生电场的电压施加部和用于检测由光电转换产生的信号载流子的电荷检测部,所述信号提取部在所述基板内设置在所述基板的与光入射的入射面相对那侧的表面上。
2.根据权利要求1所述的成像元件,其中在所述像素中形成两个信号提取部。
3.根据权利要求1所述的成像元件,其中在所述像素中形成一个信号提取部。
4.根据权利要求1所述的成像元件,其中在所述像素中形成三个以上的信号提取部。
5.根据权利要求1所述的成像元件,其中所述信号提取部在所述像素和与所述像素相邻的另一像素之间共享。
6.根据权利要求1所述的成像元件,其中所述电压施加部在所述像素与所述像素相邻的另一像素之间共享。
7.根据权利要求1所述的成像元件,其中所述信号提取部包括作为所述电压施加部的P型半导体区域以及作为所述电荷检测部的N型半导体区域,所述N型半导体区域形成为包围所述P型半导体区域。
8.根据权利要求1所述的成像元件,其中所述信号提取部包括作为所述电荷检测部的N型半导体区域以及作为所述电压施加部的P型半导体区域,所述P型半导体区域形成为包围所述N型半导体区域。
9.根据权利要求1所述的成像元件,其中所述信号提取部包括作为所述电荷检测部的第一N型半导体区域和第二N型半导体区域以及作为所述电压施加部的P型半导体区域,所述P型半导体区域形成在夹于第一N型半导体区域和第二N型半导体区域之间的位置。
10.根据权利要求1所述的成像元件,其中所述信号提取部包括作为所述电压施加部的第一P型半导体区域和第二P型半导体区域以及作为所述电荷检测部的N型半导体区域,所述N型半导体区域形成在夹于第一P型半导体区域和第二P型半导体区域之间的位置。
11.根据权利要求1所述的成像元件,其中电压被施加到所述基板中的所述入射面侧。
12.根据权利要求1所述的成像元件,其中所述像素还包括构造成反射从所述入射面入射在所述基板上的光的反射构件,所述反射构件形成在所述基板的与入射面相对那侧的表面上。
13.根据权利要求1所述的成像元件,其中所述信号载流子包括电子。
14.根据权利要求1所述的成像元件,其中所述信号载流子包括空穴。
15.根据权利要求1所述的成像元件,其中所述像素还包括构造成会聚光并使光入射在所述基板上的透镜。
16.根据权利要求1所述的成像元件,其中所述像素还包括构造成遮挡入射光的像素间遮光部,所述像素间遮光部在所述基板的入射面上形成在像素端部处。
17.根据权利要求1所述的成像元件,其中所述像素还包括构造成贯通所述基板的至少一部分并遮挡入射光的像素分离区域,所述像素分离区域在所述基板内形成在像素端部处。
18.根据权利要求1所述的成像元件,其中所述基板包括电阻大于或等于500[Ωcm]的P型半导体基板。
19.根据权利要求1所述的成像元件,其中所述基板包括电阻大于或等于500[Ωcm]的N型半导体基板。
20.一种成像装置,包括:
像素阵列部,其包括构造成对入射光执行光电转换的多个像素;和
信号处理部,其构造成基于从所述像素输出的信号计算到对象的距离信息,
其中所述像素包括
构造成对入射光执行光电转换的基板,和
信号提取部,其包括用于通过向所述基板施加电压来产生电场的电压施加部和用于检测由光电转换产生的信号载流子的电荷检测部,所述信号提取部在所述基板内设置在所述基板的与光入射的入射面相对那侧的表面上。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的