[发明专利]测试流程的配置方法、装置、存储介质及设备

说明书

本公开是关于一种测试流程的配置方法、装置、存储介质及设备，所述测试流程为在半导体产品测试中区别于主测试流程的测试流程，所述测试流程的配置方法包括：确定半导体产品的至少一个测试项目；获取所述测试项目相应的第一测试模板，所述第一测试模板中包括预设测试参数；显示所述预设测试参数；接收根据所述预设测试参数调整后的测试参数；根据调整后的测试参数，配置所述测试项目的当前测试参数；根据所述测试项目的当前测试参数，形成半导体产品的测试流程。本公开实施例提供的技术方案能够根据用户输入的测试项目自动调取相关的预设测试参数，减少用户操作，降低误输入频率，效率高。

技术领域

本公开涉及半导体技术领域，尤其涉及一种测试流程的配置方法、装置、存储介质及设备。

背景技术

在晶圆制造后，晶圆测试是至关重要的流程。为分析产品特性、可靠性以及提高产品良率，用户会做一系列的工程实验来验证，而工程实验流程经常涉及新增、修改、删除的操作。

目前，用户在新建实验流程时，需要根据产品手动建立实验流程，下载模板，输入站点相关栏位数据，导入系统，这样资料多且操作繁复，会耗费较多时间，降低工作效率。另外，各栏位存在一定的逻辑规则，手动录入数据会有输错、漏输的风险，建立的流程参数设置可能会影响测试结果；并且，相关信息修改有误，可能会直接导致测试时无法运行使用，影响实验进度。

随着产品越来越多，实验流程也越多，数据量剧增，用户手动设定流程时，需要人为查询是否已经存在，若序列号重复还会导致导入系统失败，增加操作的繁复性，效率低下。

发明内容

以下是对本文详细描述的主题的概述。本概述并非是为了限制权利要求的保护范围。

本公开提供了一种测试流程的配置方法、装置、存储介质及设备。

根据本公开实施例的第一方面，提供一种测试流程的配置方法，所述测试流程为在半导体产品测试中区别于主测试流程的测试流程，所述测试流程的配置方法包括：

确定半导体产品的至少一个测试项目；

获取所述测试项目相应的第一测试模板，所述第一测试模板中包括预设测试参数；

显示所述预设测试参数；

接收根据所述预设测试参数调整后的测试参数；

根据调整后的测试参数，配置所述测试项目的当前测试参数；

根据所述测试项目的当前测试参数，形成半导体产品的测试流程。

根据本公开的一些实施例，所述测试流程所确定的测试项目与所述主测试流程中的预设测试项目相同或者不同。

根据本公开的一些实施例，所述测试流程的切入位置和切出位置被配置为所述主测试流程中相同或不同的位置。

根据本公开的一些实施例，所述测试流程的切入位置和切出位置按照如下方式中的一种配置：

所述测试流程的切入位置为所述主测试流程中的第n个预设测试项目之前，切出位置为所述主测试流程中的第n+m个预设测试项目之前或之后；

或者，

所述测试流程的切入位置为所述主测试流程中的第n个预设测试项目之后，切出位置为所述主测试流程中的第n+m个预设测试项目之后；

其中，n为大于或等于1的整数，m为大于或等于0的整数。

根据本公开的一些实施例，所述测试流程的配置方法还包括：

根据所述测试项目的当前测试参数生成第二测试模板；

确定所述第二测试模板中的测试参数是否与已存储测试模板中的测试参数相同；